판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 #148436

LAM RESEARCH TCP 9600은 고급 마이크로 세공 프로세스를 위해 설계된 고급 에처/애셔 장비입니다. 온도 (temperature) 및 공정 매개변수 (process parameter) 를 정확하게 제어하여 정밀한 온도 및 공정 매개변수를 유지하면서 섬세한 기판의 에칭 및 재싱을 가능하게합니다. LAM RESEARCH TCP9600 시스템은 가스 클러스터 이온 소스 (gas cluster ion source) 를 기반으로하며, 이 시스템은 장치에 내장되어 있으며 정밀, 저전압 및 고전류 전원을 제공합니다. 또한, 이 기계는 공구의 유연성을 제공하기 위해 에치 후 (post-etch) 및 애쉬 후 (post-ash) 응용 프로그램을 모두 위해 설계된 이동식 웨이퍼 홀더 2 개로 설계되었습니다. 홀더는 최대 200mm의 웨이퍼 크기를 위해 설계되었으며 0.2 ~ 0.6kV의 프로세스 레시피를 수용합니다. 에셋은 또한 온도 및 발열량 제어 (heat dissipation control) 기능을 특징으로하며, 이는 에칭 또는 애싱 작업 중 기판의 온도를 제한 할 수 있습니다. 이 기능은 또한 고온 (고온) 으로 인한 샘플 손상 가능성을 최소화하는 데 중요합니다. 이 모형은 대기 중 물질을 반응시켜 기질의 오염을 방지하는 비활성 "가스 '(inert gas atmosphere) 를 탑재한다. 사용자 지정 레시피를 기반으로 제어 매개변수를 제공할 수 있습니다. TCP-9600에는 고급 프로그래밍 기능도 포함되어 있으며, 사용자가 에칭 매개변수를 지정하고, 가스를 선택하고, 가스 흐름을 활성화/비활성화하고, 초고주파를 활성화/비활성화하고, 클러스터 및 빔 이온 제어를 활성화/비활성화할 수 있습니다. 사용자는 개별 etch 및 ash 매개 변수를 설정할 수도 있습니다. 마지막으로, TCP 9600 의 장비 소프트웨어는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 구성하고 모니터링하기 위한 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH TCP-9600은 정확한 온도 및 공정 제어를 제공하는 고품질 에칭/애싱 시스템입니다. 첨단 (Advanced) 기능을 통해 다양한 기판에 고품질 (High Quality) 구조와 패턴을 생성하여 고급 마이크로패브라이션 (Microfabrication) 프로세스에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.