판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9410049

LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 광범위한 응용 프로그램을 처리하면서 정확성과 정확성을 제공하도록 설계된 고급 etcher/asher입니다. 가변 온도 제어 장비, 가변 가스 흐름 AI2O3 및 O2 압력, 고급 프로세스 제어 소프트웨어 등 고급 기능이 있습니다. 공정 모니터 (process monitor) 가 내장된 완전 자동화된 etcher/asher로 일관되고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 시스템은 0.25 "최대 4" 크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 4 개의 웨이퍼 카세트 로딩 장치를 가지고 있습니다. 압력 범위는 1-100 Torr, 온도 범위는 20-950õC입니다. 압력 (pressure) 과 온도 (temperature) 를 원자로 모니터링하고 수동 모드 또는 프로그래밍 가능한 모드에서 머신을 실행하도록 설정할 수 있습니다. 이 제품은 효율적이고, 안정적이며, 낮은 TCO (총 소유 비용) 를 제공하도록 설계된 매우 생산적이고 효율적인 장비입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 를 사용하면 에치 프로파일의 균일성 및 고밀도 에칭과 같은 고품질 기능을 달성 할 수 있습니다. 모든 구성 요소는 부식 방지 및 유지 보수가 적도록 설계되었습니다. 이 도구에는 폐쇄 루프 (closed-loop), 자기 재생 가스 (self-reenerative gas) 자산이 있는데, 이는 유독 가스의 사용을 줄이고 가장 높은 안전 표준을 준수하는 데 사용될 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH TCP 9600SE는 광범위한 기능과 기능을 갖춘 최첨단 etcher/asher입니다. 이 제품은 고품질 제품을 생산하는 데 매우 효율적이고 효과적이며, 연구, 개발, 생산 프로세스에 적합한 솔루션입니다. 일관되고 반복 가능한 결과를 제공하기 위해 만들어졌으며, 모든 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 또한, 클로즈드 루프 (closed-loop), 자기 재생 가스 (self-reenerative gas) 모델을 특징으로하며, 가장 높은 안전 표준을 준수하여 독성 가스의 사용을 줄이는 데 사용될 수 있습니다.