판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9300197

LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 고정밀 마이크로 일렉트로닉 구성 요소 제작을 위해 설계된 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 최첨단 구성요소와 강력한 소프트웨어로 구성되며, 안정적이고, 반복 가능하며, 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 고정밀도 및 반복성이 필요한 웨이퍼 에칭 응용 프로그램에 이상적입니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE는 모듈성이 뛰어나 특정 요구에 따라 구성할 수 있습니다. 플라즈마 챔버 크기 및 유형, 도금 옵션, 진공 시스템, 난방 요소 등 모든 장치 구성 요소를 사용자 정의할 수 있습니다. 이를 통해 광범위한 에치 프로세스를 수용 할 수 있습니다. 이 기계는 더 높은 처리량, 정확성 및 반복 성을 가능하게하는 모듈 식, 다중 갈바노미터 광학 설계를 기반으로합니다. 이 도구에는 다양한 RF 및 DC 전원 공급 장치, 여러 소스 챔버 (source chamber) 및 최적화된 에치 레이트와 균일성 (unifority) 이 장착되어 있습니다. 또한 독보적인 플라즈마 주입 기술 (Plasma Injection Technology) 을 통해 최고의 에칭 성능을 제공합니다. 또한 다양한 프로세스 제어 옵션을 통해 안정적이고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이 자산에는 2 단계 안전 연동 모델, PSE (Pulsed Spectral Etching), 프로세스 제어 스테이션, 소프트웨어 기반 제어 장비 및 고속 데이터 획득 및 분석 하위 시스템이 있습니다. 이러한 구성 요소를 통해 TCP 9600 SE는 기능을 미크론의 1/20까지 정확하게 식각 할 수 있습니다. 전반적으로 TCP 9600SE는 신뢰성 있고 정확하며 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계된 다목적, 고급 etcher/asher 시스템입니다. 모듈식 (modular) 설계를 통해 사용자 정의가 가능하며, 고급 (advanced) 구성 요소를 통해 정확한 결과와 프로세스 제어를 실현할 수 있습니다. 또한 안전 연동 장치 (Safety Interlock Unit) 및 기타 부품은 항상 안전한 작동을 보장합니다. 이를 통해 LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 연구 개발, 대규모 생산에 이르기까지 광범위한 에칭 애플리케이션에 적합합니다.