판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9300195

LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 산업 등급의 에처이며 반도체 산업에서 사용하도록 최적화되었습니다. 이것 은 매우 높은 정확도 와 반복성 을 지닌 여러 가지 기판 으로, 복잡 한 구조 를 신속 히 "에치 '시키도록 설계 되었다. 이 기계의 표준 버전은 새로운 세대의 프로세스 제어 소프트웨어 및 하드웨어를 사용하여 리에 (reactive-ion etching, ECE), 전자 화학 에칭 (electro-chemical etching, ECE) 및 플라즈마 에칭 (PE). 기계는 또한 불활성 가스 전달 시스템 (inert gas delivery system) 을 포함하며, 이는 에치 또는 애쉬 공정의 최적의 균일성과 품질을 보장합니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE (LAM RESEARCH TCP 9600SE) 는 최고 품질의 재료로 구성되어 가혹한 제조 공정 중에 안정적인 성능과 수명을 제공합니다. SH (Substrate Heater) 의 공정 챔버 온도 범위는 25 ~ 400 례이며 다양한 에치 및 애쉬 프로세스를 허용합니다. 또한 TCP 9600 SE에는 최대 수평 속도 800mm/sec 및 수직 속도 600mm/sec의 X-Y-Z 드라이브 시스템이 포함되어 있으며, 모든 금속 및 비금속에 대해 빠르고 정확한 에칭을 제공합니다. TCP 9600SE는 기가비트 메모리 장치에 사용되는 것과 같은 풀 필드, 직접 쓰기 에치 및 평면 집적 회로 (IC) 와 같은 프로세스 화학에 사용할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 이온 이식 (ion implanting) 및 다이아몬드 푸시 커팅 (diamond push cutting) 에서 탁월한 성능을 제공하도록 최적화되어 까다로운 유형의 전자 및 태양 광 장치 생산에 적합합니다. 에처와 애셔는 O2, H2, He 및 CH4를 포함한 다양한 가스와 고농도의 Ar, HCl, SiCl4 및 NH4HF2의 작동을 허용합니다. LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 또한 프로세스 모니터링 장비와 완벽하게 통합되어 실시간 가스 및 진공 측정을 캡처합니다. 포함된 운영자 HMI (Human-Machine Interface) 는 여러 언어를 지원하며 쉽게 작동하고 문제를 해결할 수 있도록 설계되었습니다. 대화상자 제어 (Dialog-driven) 메뉴는 사용자에게 컴퓨터를 설정하고 제어하는 데 필요한 모든 정보를 제공합니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE (LAM RESEARCH TCP 9600SE) 는 산업용으로 설계된 고급 에처 및 애셔이며 우수한 에치 및 애쉬 결과를 제공 할 수 있습니다. 강력하고 사용이 간편한 운영, 고급 프로세스 제어 (process control) 기능을 통해 까다로운 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 생산 프로세스를 선택할 수 있습니다.