판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9268139

LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 반도체, 석영 재료, 기타 특수 재료 등 다양한 기판을위한 고급 에칭 솔루션입니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE는 최첨단 Windows 운영 장비로 구동되며, 다른 주변 장치와 빠르고 쉽게 연결할 수 있습니다. 반응성 이온 에칭 (RIE) 기술은 활성 (active) 글로벌 이온 빔을 사용하여 다양한 기판에 정확하게 에칭 된 기능을 생성합니다. 시스템의 고급 컨트롤은 니트라이드 에칭 (nitride etching) 및 포토레지스트 (photoresist) 스트리핑 기능을 모두 제공하며, 최적의 결과를 위한 다양한 사용자 정의 가능한 매개변수를 제공합니다. 사용이 간편한 제어 인터페이스를 통해 에칭 속도, 온도, 가스 흐름, 챔버 압력 등의 매개 변수를 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. 에처 (etcher) 는 장비 공간이 커서 더 큰 생산 라인으로 통합 할 수 있으며, 고정장치 (fixture) 다용도로 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 9600 SE는 고급 RF 생성기를 장착하여 사실상 필요한 모든 표면 형상을 균일하게 에칭합니다. 발전기는 엄격한 RIE 임피던스 제어를 준수하여 일관된 에칭 결과를 보장합니다. 또한 플라즈마 청소 기능이 있으며, 유기 잔기, 표면 산화물 층, 금속 산화물 층을 제거 할 수 있습니다. 이를 통해 단위는 컴포넌트를 매우 높은 수준의 정밀도로 에치 (etch) 할 수 있습니다. TCP 9600 SE는 정교한 진공실을 가지고 있으며, 안정적이고 반복 가능한 에칭 성능을 제공합니다. 챔버는 RIE 용으로 맞춤형 설계되었으며, 고급 진공 펌핑 머신과 모든 챔버 벽에 단일 크리스탈 다이아몬드 같은 코팅이 특징입니다. 이를 통해 최적의 에칭 정밀도와 반복성이 보장됩니다. 또한, 9600 SE는 전기 광택 챔버 벽으로 마무리되어 에칭 품질이 최적의 긴 수명 주기를 제공합니다. 전체적으로, TCP 9600SE는 정교한 에칭 툴로, 사용자의 참여를 최소화하면서 최고의 정확성과 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. 첨단 RIE 기술과 내장형 RF 생성기 (Integrated RF Generator) 는 다양한 구성 요소와 기판에 대해 높은 수준의 에칭 정확도를 제공합니다. 단일 크리스탈 다이아몬드와 같은 코팅 및 전기 광택 벽은 탁월한 진공 및 반복성 성능을 보장하는 반면, 통합 Windows 운영 자산은 빠르고 쉬운 모델 연결을 보장합니다.