판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9243633

LAM RESEARCH TCP 9600 SE
ID: 9243633
웨이퍼 크기: 8"
Etcher, 8".
LAM RESEARCH TCP 9600 SE (LAM RESEARCH TCP 9600 SE) 는 고성능 산업 에칭을 위해 설계된 고급 에치 앤 애쉬 (etch-and-ash) 장비로, 광범위한 재료를 위한 높은 처리량과 정밀 에칭이 가능합니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE는 정밀 에칭 기술과 고급 프로그래밍 가능한 재 처리를 결합하여 업계 최고의 결과를 제공합니다. 이 시스템은 처리 속도 향상, 유연성 향상, 품질 향상 등 대용량 운영 환경을 위해 설계되었습니다. TCP 9600 SE는 62 x 40cm (62 x 40cm) 의 넓은 작업 영역을 갖추고 있으며, 조정 가능한 단일 빔 유닛으로 정확한 에칭 및 정확한 재 응용이 가능합니다. 이 기계에는 고급 자동 재 처리 (automated ash handling) 기능과 여러 프로그램 및 레시피를 저장하여 빠르고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 이 도구에는 고품질 옵티컬 뷰 파인더 (Optical Viewfinder) 와 20 미크론 해상도 및 스테레오 효과 기능이 장착되어 있어 정확한 에칭 및 상세한 재 처리가 가능합니다. TCP 9600SE는 고급 에치 앤 애쉬 (etch-and-ash) 기능 외에도 완벽한 프로그래밍 가능한 실시간 프로세스 제어 모델을 제공하는 강력한 프로세스 제어 자산을 포함합니다. 이 장비 를 사용 하여 "에치 '깊이," 드웰' 시간, 회분 과 같은 식각 매개변수 와 회분, 온도, 회분 의 농도 를 제어 할 수 있다. 공정 제어 시스템 (Process Control System) 은 또한 정밀 온도 조절이 가능한 독립 온도 및 가스 제어 모듈을 갖추고 있으며, 이를 통해 에칭 매개변수 및 결과를 정확하게 조정할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 또한 온보드 가스 전달 장치 (on-board gas delivery unit) 를 갖추고 있으며, 기계 전체에 에칭 가스를 균일하고 일관되게 분배할 수 있으며 최대 6 개의 에칭 가스를 처리 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 다양한 유해 물질 모니터링 (Hazardous Material Monitoring) 을 제공하여 자산 및 해당 부품의 안전성과 품질을 보장합니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE는 다재다능하고 강력한 에치 앤 애쉬 (etch-and-ash) 모델로 산업용 성능, 빠른 설치 및 고품질 결과를 제공합니다. 이 시스템은 재 처리 (ash handling) 및 프로세스 제어 (process control) 장비를 자동화하여 대용량 운영 환경에 이상적인 일관되고 반복 가능한 에칭 프로세스와 결과를 제공할 수 있습니다.
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