판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9235586

LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 반도체 제작 산업에 사용되는 강력한 에처입니다. 이 제품은 웨이퍼 로딩 (wafer loading) 에서 프로세스 제어 (process control), 제품 클리닝 (product cleaning) 및 배출 모니터링 (emease monitoring) 에 이르기까지 전체 에치 프로세스를 포괄하는 완벽한 플랫폼입니다. 이 장비는 최대 60 밀리바의 압력 범위에서 작동하는 LAMAX 가스 전달 시스템 (LAMAX gas delivery system) 을 사용하여 에치 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 기계는 최대 웨이퍼 크기가 200mm 인 기판을 에칭 할 수 있으며, 웨이퍼 당 공정 시간은 3 분에서 30 분 사이입니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE에는 프로세스 매개변수를 분석하고 고정밀 에칭을 활성화하는 고급 소프트웨어 컴포넌트가 포함되어 있습니다. 이러한 구성 요소에는 광 기반 검출기, 커패시턴스 전압 스위핑 장치 및 고 처리량 가스 센서가 포함됩니다. 이 시스템을 사용하면 프로세스 매개변수 (process parameters) 를 조정하여 원하는 etching 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 도구는 최적의 에치 (etch) 환경을 유지하기 위해 가스 유량을 정확하게 모니터링 할 수 있습니다. TCP 9600 SE는 또한 내장형 진단 및 도구를 통해 성능을 모니터링할 수 있습니다. 이 기계는 폐기물과 배출량을 최소화하면서 처리량을 극대화하는 고급 열 제어 (Advanced Thermal Control) 자산을 사용합니다. 또한 모든 모델의 기능에 대한 액세스를 제공하는 터치 스크린 인터페이스 (Touch Screen Interface) 가 있습니다. 뿐 만 아니라, "에처 '는 방 을 깨끗 하게 유지 하고 챔버' 환경 의 오염 을 방지 하는 데 도움 이 되는 정밀 한 석영" 코우팅 '장치 를 갖추고 있다. TCP 9600SE (TCP 9600SE) 는 반도체 제작 업계의 사용자에게 에치 (etch) 프로세스를 정확하게 조정할 수있는 효과적이고 효율적인 에처입니다. 이 기계는 강력한 소프트웨어 구성 요소, 뛰어난 빌드 디자인, 고급 도구 (advanced tools) 를 통해 반도체 제조업체를 통해 고품질 에칭 (etching) 결과를 얻을 수 있는 효과적인 방법을 제공합니다.