판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9228028

LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 최적의 성능과 편의를 위해 설계된 반도체 에칭/애싱 장비입니다. 광범위한 유전체, 금속 및 기타 물질에 대한 완전 자동화 된 에치/애쉬 (etch/ash) 공정을 제공합니다. 이 시스템은 표준 에치/애쉬 (etch/ash) 레시피를 사전 프로그래밍하여 고유한 기능의 배치를 만드는 데 일관성과 유연성을 제공합니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE에는 다중 헤드 컨베이어 장치, 다중 채널 제어기, 고속 웨이퍼 매핑 도구와 같은 고급 기능이 장착되어 있습니다. 다중 헤드 컨베이어 에셋은 롤러 컨베이어와 음향 운송 서브 시스템을 모두 사용합니다. 롤러 컨베이어는 다양한 크기의 웨이퍼를 수용하도록 크기를 조정할 수 있습니다. 음향 전송 서브시스템 (Acoustic Transport Subsystem) 은 기계적 접촉 없이 비접촉 구성으로 웨이퍼를 전송하도록 설계되었습니다. 롤러 구동은 폐쇄 된 챔버에 감압 공기를 공급하여 웨이퍼가 챔버 내에 "플로트 (float)" 할 수 있습니다. 음향 수송 하부 시스템은 초음파 발진기 (ultrasonic oscillator) 로 구동되며, 진동 튜브에 의해 생성 된 음향 필드를 통해 웨이퍼를 구동합니다. TCP 9600 SE는 프로세스 매개변수 및 웨이퍼 매핑을 제어하기 위해 다중 채널 제어 모델을 갖추고 있습니다. 광 매핑 (optically-mapped) 웨이퍼 매핑을 사용하면 지원되는 플래터에서 웨이퍼를 정확하게 배치할 수 있습니다. 다중 채널 제어 장비를 사용하면 실시간 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 진행 상황을 추적할 수 있으므로 전체 프로세스 전체에서 에치/애쉬 챔버 (etch/ash chamber) 조건이 최적으로 유지됩니다. 이 장치에 통합 된 고속 웨이퍼 매핑 시스템 (High-Speed Wafer Mapping System) 은 레이저로 구동되며, 이를 통해 지원되는 플래터에 웨이퍼를 빠르게 매핑 할 수 있습니다. 저장된 매핑 데이터는 etching 및 ashing 프로세스의 상태를 모니터링하는 데 사용됩니다. 매핑 머신 (mapping machine) 은 지원되는 플래터에서 각 웨이퍼의 정확한 치수와 해당 위치를 최대 5 미크론의 정확도로 정확하게 정의 할 수 있습니다. TCP 9600SE는 전체 에칭 및 애싱 프로세스를 정확하게 제어하는 강력한 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 다양한 소재의 고속 매핑 및 정확한 에칭/애싱 (etching/ashing) 기능을 제공합니다. 자동화된 프로세스와 정밀 제어 도구를 통해 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 정확한 마이크로 전자 부품의 대용량 생산에 이상적인 자산입니다.