판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9228025
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9228025
웨이퍼 크기: 8"
Etchers, 8"
Control system: EnVision
CPU: 586 Processor
HINE 38A Indexers
Process chamber:
Ceramic TCP window
Endpoint detection, 853-001983-011
Heated endpoint window
Process kits, 6"
6" ESC Semi / Major / No minor
No chamber liner set
SEIKO SEIKI STP-1000 Turbo pump, 1000L/S
No turbo pump interlock board
Pendulum gate valve: VAT65
Vat gate valve controller: PM7
Main chamber manometer: 100mt
Turn RF coil: 6 Turns
DIP-PCB RF Tuner
Helium back side cooling
Gas
DSQ Chamber:
Hinged DSQ stripper
WVDS
Gas type and flow configuration: O2, CF4, H2O
Heated paddle, 6"
Quartz, 6"
Manometer: 10 Torr
Throttle valve pressure controller: MDVX
Auto fill WVDS temperature controller
Auto fill WVDS controller
Chemraz o-ring
APM:
Ambient and hot water: 70°C
Nitrogen gas blow dry
APM DI Water heater controller
APM DI Water nozzles
Others:
On-board 1250W generators: (3) RFG 1250
9600SE EnVision manual
No chiller
No dry pump.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 반도체 기판의 정밀 에칭 및 재싱을 위해 설계된 차세대 에칭/애싱 도구입니다. 첨단 프로세스 기술 (Advanced Process Technology) 은 우수한 성능과 장기적인 신뢰성을 제공하여 운영 환경과 연구 실험실에서 모두 사용할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE는 양면 석영 촉매 판 또는 "에처 플레이트 (etcher plate)" 를 사용하는데, 여기에는 작은 세라믹 펠릿이 포함되어 수성 반응물과 가스의 균등한 분포가 있습니다. 그 다음 에 "에처 '판 은 진공 압력 환경 및 무선 주파수 (RF) 동력 에 노출 되는데, 이것 은 반응물 에 활력 을 불어 넣어 급속 히 기판 으로 유입 시킨다. 이 툴에는 고도로 사용자 정의 가능한 소프트웨어 (software) 와 하드웨어 (hardware) 플랫폼이 장착되어 있어 공간 균일성과 전원 설정을 정확하게 제어할 수 있습니다. TCP 9600 SE에는 다음과 같은 기능이 있습니다. 여러 기판 크기와 모양과 호환되며, 사용자가 2cm x 2cm ~ 12cm x 12cm 범위의 조각에서 에치 앤 애쉬 할 수 있습니다. 또한 선택할 수있는 다양한 압력, 온도, 반응 대기를 제공합니다. 또한 가스 흐름 제어 시스템 (gas flow control system) 및 물 처리 (water disposal) 와 같은 몇 가지 추가 기능이 있어 쉽고 안전한 작동이 가능합니다. 전체적으로 TCP 9600SE는 반도체 응용 프로그램을 위해 설계된 정밀 에칭 및 애싱 도구입니다. 고급 프로세스 기술과 사용자 지정 소프트웨어 설치 (Customizable Software Setup) 기능을 통해 운영 비용과 시간을 절감하면서 탁월한 성능을 제공합니다. 다용도 크기 옵션과 자동화된 환경 제어 (Environmental Control) 기능을 통해 안전하고 효과적인 에칭 및 애싱 프로세스를 구현할 수 있습니다. 장기적인 신뢰성을 갖춘 LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 모든 에칭/애싱 응용 프로그램에 완벽한 선택입니다.
아직 리뷰가 없습니다