판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9211769

LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 다양한 응용 분야를위한 폴리머 및 기타 박막 증착을 위해 설계된 고급 Plasma 기반 Asher/Etcher Equipment입니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE는 웨이퍼에 고급 에칭, 에치 속도 측정, 얇은 전송 필름의 열 리플로를 수행 할 수 있습니다. 시스템의 핵심 기술은 "리에 액티브 이온 에칭 (Reactive Ion Etching)" (RIE) 으로, 이온 폭격의 물리적 효과와 가스 상 에너지 전달의 화학 효과를 결합하여 고도로 이방성 에칭 프로파일을 생성합니다. 또한, 유닛에는 고순도 이온화 된 공정 물을 안정적이고 반복 가능한 방식으로 제공하기 위해 ULTRAWATER Module이 포함되어 있습니다. TCP 9600 SE는 최신 기술을 사용하여 구조와 재료를 정확하게 에칭합니다. 탁월한 프로세스 제어를 위해 프로그래밍 가능한 스캔 벡터가 장착 된 고정밀 공정 챔버 (high-precision process chamber) 가 장착되어 있습니다. 또한 기계에는 빠른 에칭 사이클을위한 고속 플라즈마 소스 (Plasma Source), 깨끗한 에칭을위한 저증기 전달 도구, 사용자 및 환경에서 에치 가스를 분리하는 특수 가스 전달 자산 (specializ gas delivery asset) 이 있습니다. 안전하고 안정적인 작동을 보장하기 위해 모델에는 자동 압력 조절, 공기/가스 누출 감지, 퍼지 가스 제어, 화재 및 가스 감지/억제 시스템 등 여러 안전 기능이 포함되어 있습니다. TCP 9600SE는 차세대 LAM RESEARCH Asher/Etcher Equipment의 일부로 뛰어난 성능과 신뢰성을 제공합니다. 시스템 (System) 은 프로세스 제어 향상, 균일성 향상, 처리량 향상 등 다양한 이점을 제공합니다. 이 장치는 웨이퍼 레벨 패키징 응용 프로그램 및 기타 고급 IC 처리 응용 프로그램에 이상적입니다.