판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9197777

LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 효율적이고 안정적인 에칭 및 애싱 성능을 제공하는 최첨단 에처 및 애셔입니다. 이 장비는 사용이 간편한 컨트롤과 함께 빠르고 정확한 결과를 제공하는 고도로 반복 가능한 자동화된 (HA) 프로세스로 설계되었습니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE 는 가장 까다로운 운영 및 연구 환경에서 처리량이 많은 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 자동화된 카세트투 카세트 (cassette-to- cassette) 프로세스와 효율적인 로드 처리를 통해 빠르고 일관된 생산이 가능합니다. TCP 9600 SE는 처리량이 높아 카세트당 최대 8 개의 기판을 허용하며, 카세트 용량은 최대 96 개입니다. 이 장치의 낮은 교차 오염 및 낮은 기질 증착 속도 (low cross deposition rate) 는 매우 반복 가능하고 안정적인 에칭 및 애싱 프로세스를 제공합니다. TCP 9600SE에는 자체 포함된 프로세스 챔버 (process chamber) 가 장착되어 있어 교환이 쉽고 지속적인 청소가 가능합니다. 프로세스 챔버 (process chamber) 는 1 단계 베이크 아웃 프로세스와 통합되어 다운타임을 최소화하고 가동 시간 및 처리량을 극대화합니다. 컴퓨터에는 고급 진단 (Diagnostics) 기능이 있어 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 공구의 정밀도는 일치하지 않으며, 에칭 및 애싱 프로세스의 모든 단계에서 3% 이내의 반복 성과 정확도를 제공합니다. 통합 프로세스 (integrated process) 는 원치 않는 에칭을 보호하여 기판 증착이 적은 매우 수준의 프로파일을 제공합니다. LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 ArF, IBE 및 다양한 저항성을 가진 웨이퍼의 심층 식각 (deep-etching) 을 포함하여 다양한 재료를 에칭하고 분쇄 할 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH TCP 9600SE는 매우 효율적이고 통제된 환경에서 뛰어난 에칭 및 애싱 성능을 제공합니다. 사용자 정의 가능한 플랫폼과 안정적인 프로세스를 통해 TCP 9600 SE 는 모든 연구/운영 환경에서 최고의 생산성, 처리량, 정확도 표준을 충족하도록 설계되었습니다.