판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9188612
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LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 반도체 웨이퍼 제조 프로세스에 사용되는 고속 에처/애셔입니다. 첨단 기술을 활용하여 고정밀 병렬화된 반도체 웨이퍼 처리를 위한 정확한 에치 (etch) 프로세스를 제공합니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE는 자동화된 레시피 실행 기능과 함께 TCP (True Coincidence Point) 중앙 제어 모듈을 사용합니다. 또한 유연한 컴퓨터 인터페이스 (Flexible Computer Interface) 를 통해 사용자는 전체 에칭 프로세스를 쉽게 그래프로 표시하고 모니터링할 수 있습니다. TCP 9600 SE는 True Coincidence Point 모듈을 사용하여 모든 etch 매개변수가 X 및 Y 방향으로 정확하게 정렬되도록 합니다. 이렇게 하면 에치 (etch) 프로세스가 올바르게 조정되고 각 웨이퍼가 동일한 매개변수와 정밀도로 처리됩니다. TCP 9600SE에는 AutoPilot 자동 레시피 실행 제어 기능이 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 사용자가 따라야 할 정확한 에칭 (etching) 프로세스를 빠르고 정확하게 조정하고 모니터링할 수 있습니다. 연산 순서 는 "에터 '가 매번 재프로그램 (재프로그램) 되지 않고 그 연산 을 반복 할 수 있도록" 프로그램' 되고 기억 에 저장 된다. LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 또한 진행 중인 에칭 프로세스의 그래픽 디스플레이를 제공하는 컴퓨터 인터페이스를 갖추고 있습니다. 사용자는 전체 에칭 프로세스를 모니터링하고 필요에 따라 실시간으로 조정할 수 있습니다. 이 기능은 특히 각 웨이퍼 (wafer) 가 올바른 etch 매개변수를 수신하고 etch 프로세스가 일관된 결과를 생성하도록 하는 데 유용합니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE는 고정밀 병렬 반도체 웨이퍼 제조에 적합한 안정적이고 정밀한 etcher/asher입니다. TCP (True Coincidence Point) 모듈은 etch 매개변수가 올바르게 정렬되고 자동화된 레시피 실행 제어를 통해 사용자가 정확한 etching 프로세스를 신속하게 조정할 수 있도록 합니다. 마지막으로, 컴퓨터 인터페이스 (computer interface) 는 전체 에칭 프로세스를 모니터링할 수 있는 그래픽 디스플레이를 제공합니다.
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