판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9169594

LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 연구 및 산업 응용 분야에 적합한 고급 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 전 세계적으로 조건화되어 있으며, 최적의 성능을 위해 질소 재활용 요람을 포함합니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE는 최대 12 개의 가스 및 0.25 nm/min에서 1.0 nm/min의 선형 속도를 갖는 단일 웨이퍼 에칭 및 애싱 장치입니다. 새로운 프로세스의 연구 및 개발에 필요한 유연성을 제공하는 -20 ° C ~ + 20 ° C (온도 제어) 를 제공합니다. TCP 9600 SE는 특허를받은 선형 속도 프로파일 (LVP) 제어를 가지고 있으며, 최소 웨이퍼 워핑으로 탁월한 프로세스 균일성을 제공합니다. 손쉽게 작업할 수 있도록 TCP 9600SE에는 다양한 언어 옵션이 있는 사용자 친화적인 터치스크린 인터페이스가 있습니다. 레시피와 크리티컬 파라미터를 그래픽으로 표현하고, 레시피를 빠르고, 효율적으로 작동하고, 검증합니다. 또한 LAM RESEARCH TCP 9600 SE (LAM RESEARCH TCP 9600 SE) 를 사용하여 실행을 시작하기 전에 여러 프로세스 매개변수를 시뮬레이션하여 추측을 제거하고 완료 시간을 줄일 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE etcher/asher는 또한 고도로 맞춤형 템플릿 형태로 추가 유연성을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 다양한 스크립트 (스크립트) 를 사용할 수 있으며, 이를 통해 시스템 작업을 자동화하고 단순화할 수 있습니다. 안전 측면에서 TCP 9600 SE는 프로세스 매개변수가 초과되거나 이상 (anomaly) 이 감지되면 자동으로 플라즈마를 차단하는 활성 플라즈마 잠금 장치 (active plasma lock) 와 함께 제공됩니다. 이것은 연구원들이 위험한 배출으로부터 안전하게 지키는 데 중요합니다. 이 도구에는 응급 상황 (Emergency Shutdown) 시 기계를 종료하는 데 사용할 수있는 ESD (Emergency Shutdown) 자산도 있습니다. 전체적으로 TCP 9600SE는 연구 및 산업 응용 분야에 적합한 고급 etcher/asher 모델입니다. 사용자 친화적인 인터페이스와 사용자 지정 기능이 뛰어난 템플릿을 통해 쉽게 작동할 수 있으며, 고급 안전 (Safety) 기능을 통해 사용자 보호 기능을 극대화할 수 있습니다.