판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9153545

LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 아트 에처/애셔의 상태입니다. 플라즈마 에치 및 습식 화학 에치/애싱 공정에 사용하도록 설계되었습니다. 이 기계는 critical film, hard mask residue 및 special film과 같은 고급 프로세스 응용 프로그램에 적합합니다. 모듈 식, 통합, 가스 타이트 챔버를 특징으로하여 RIE, ICP 및 플라즈마 에치, 습식 화학 에치 및 재싱을 수행 할 수 있습니다. 이 기계에는 laminar-flow, 고용량 진공 펌프, 고주파 RF 생성기, 고해상도 에치 제어 시스템 등 다양한 도구가 장착되어 있습니다. 이를 통해 뛰어난 일관성, 정확성, 반복성을 갖춘 다양한 etch 프로세스를 수행할 수 있습니다. 압력 제어는 또한 고정밀 프로세스 제어를 허용합니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE (LAM RESEARCH TCP 9600SE) 에는 일련의 자동 레시피 옵션이 있어 사용자가 프로그래밍 없이 배치 처리를 신속하게 설정하고 실행할 수 있습니다. 또한 프로세스 종단점 탐지기 (process end-point detector) 와 프로세스 매개변수 자동 조정 (automatic adjustment to process parameter) 등 다양한 자동 모니터링 및 제어 시스템이 장착되어 있습니다. TCP 9600 SE는 업계 최고의 안전 기능도 제공합니다. 여기에는 기계의 특정 영역에 대한 액세스를 제한하는 연산자 인터페이스 (operator interface), 임계 기능 온도 (critical functional temperature), 가스 압력 (gas pressure) 또는 기타 프로세스 매개변수 (process parameter) 및 통합 이중 재시작 시스템 (integrated dual-restart system) 이 포함됩니다. 또한 제조업체의 강력한 유지 보수 프로그램 (정기 예방 유지 보수, 무상수리 연장, 판매 후 (post-sale) 서비스 및 지원 포함) 을 제공합니다. 이를 통해 고객사의 투자가 앞으로 몇 년 동안 잘 처리될 수 있게 됩니다 (영문). TCP 9600SE는 에치/애싱 (etch/ashing) 프로세스를 수행하는 모든 실험실에서 탁월한 선택입니다. 기술적 우수성, 스마트 운영 기능, 애프터 세일 (after-sale) 서비스 및 지원이 결합되어 모든 시설에 이상적인 선택이 됩니다.