판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9153019

LAM RESEARCH TCP 9600 SE etcher/asher는 반도체 재료의 에칭/해싱을위한 고성능, 비용 효율적인 안정적인 도구입니다. 이 기계는 직류 (DC) 또는 무선 주파수 (RF) 기반 소스를 사용하여 평면 및 수직 에치 영역 내에서 에칭/애싱 할 수 있습니다. "에처 '의 공정" 챔버' 는 "스테인레스 '강 으로 조성 되어 민감 하고 심하게 무늬 가 된 반도체" 웨이퍼' 를 처리 할 수 있는 안정적 이고 안전 한 환경 을 제공 한다. 9600 SE는 강력한 프로그래밍 가능한 모터 및 팬 제어 (fan control) 를 갖추고 있으며, 에칭/애싱 프로세스 동안 프로세스 조건을 정확하고 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 장비는 고급 가스/진공 소스 (advanced gas/vacuum source) 를 사용하여 전체 웨이퍼 표면에 균등하고 일관된 에치/애쉬 프로파일을 제공합니다. 여러 가지 "가스 '흐름 과 압력 을 구성 하여 광범위 한" 에칭' 필요 를 충족 시켜 고도 의 조절 을 할 수 있다. 그 에 더하여, "에처 '는 각기 다른 전극 을 갖추고 있어서," 에치' 하는 물질 에 따라 다른 운동 "에너지 '를 적용 할 수 있게 하여 기계 가 일관성 있는 높은 성능 을 얻을 수 있게 해 준다. 9600 SE의 정밀 해싱 (precision ashing) 기능은 높은 종횡비 기능의 매우 정확한 해시를 가능하게 합니다. 시스템의 고급 프로세스 챔버 (advanced process chamber) 는 표면 손상을 최소화하고 에칭/애싱 프로세스를 최적화하도록 설계되었습니다. 또한, etcher는 고급 자동 웨이퍼 전송 장치 (automated wafer transfer unit) 를 특징으로하며 대기 시간이 최소화되면서 고속 웨이퍼 처리가 가능합니다. 9600 SE 의 프로그래밍 기능은 에치/애쉬 (etch/ash) 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있으며, 자동화된 프로세스를 통해 품질 저하 없이 높은 처리량을 제공합니다. 이 기계는 열 이미징 (thermal imaging) 및 공기 흐름 분석 (air flow analysis) 과 같은 다양한 모니터링 시스템을 통합하여 최정상급 안전 (top-of-line safety) 기능을 갖추고 있으며, 운영자가 중요한 문제가 되기 전에 잠재적 문제를 인식하고 있습니다. 또한 Smart Data Collection 및 Storage Software 를 활용하면 프로세스 매개변수를 손쉽게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE etcher/asher는 매우 다양하고, 안정적이며, 비용 효율적인 에칭/애싱 솔루션으로 고성능, 고성능 처리량 어플리케이션에 적합합니다. 정교한 프로그래밍 기능, 고급 프로세스 기능, 포괄적인 안전 기능을 갖춘 9600 SE 는 etch/ash 애플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다.