판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9134002

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ID: 9134002
웨이퍼 크기: 6"
Etcher, 6" Operation system: Classic Clamp type: E APM Type: Standard Stripper type: DSQ General hardware information: System requirements: 208V / 3PH / 50 / 60Hz AC / DC Configuration: 001 Gas box type: Orbital type Main chamber pressure regulation type: WVDS Type: Auto DSQ Type: Hinged TMP Options: TMP Type: A1 1300M Endpoint detection options: 261 / 703 Endpoint window type: Non HTD Monochromator hard structured: N Lam standard remote AC box: No CR Configuration: Ballroom: Bulkhead Mini environment: No Factory automation configuration: Open cassette: 6" Miscellaneous configuration: Remote user interface: Yes XLL Wafer sensor: Yes Vacuum / RGA Check port: Vacuum check port main chamber Manuals: No Pumping system options: No Mainteinance tool kits: No.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 정확하고 제어 가능한 청소가 필요한 챔버 벽 및 기타 표면을 정확하고 반복적으로 청소하도록 설계된 etcher/asher입니다. 비금속 스프레이 장비를 사용하여 정확하고 반복적으로 균일 한 청소 프로세스를 만듭니다. 이 시스템은 정확한 적용 범위와 정확하게 반복 가능한 클리닝 (cleaning) 이 가능하며, 결과는 일관되게 정확하고 신뢰할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE (LAM RESEARCH TCP 9600SE) 는 특허 기술로, 액체의 흐름을 매우 미세한 입자 크기로 제한하는 펄스 스프레이 노즐 (pulsed spray nozzle) 을 사용하여 시장의 다른 장치보다 훨씬 더 미세한 스프레이 패턴을 생성합니다. 이것은 반복 가능하고, 정확하며, 더 높은 정확도의 챔버 벽 (chamber wall) 영역을 덮을 수있는 범위의 패턴을 만듭니다. 이 기계는 또한 음극 화 된 증기를 활용하는 독특한 스프레이 코팅 메커니즘 (spray coating mechanism) 을 특징으로하며, 이를 필요로 하는 표면을 일관되고 정확하게 청소할 수 있습니다. TCP 9600 SE 는 여러 가지 안전 (Safety) 기능을 갖추고 있어 클리닝 프로세스가 안전하고 효율적인지 확인합니다. 여기에는 마모성 재료, 유출을 방지하는 내장 화면, 공정 중에 생성 된 에어로졸 (aerosol) 이 포함됩니다. 이 도구는 또한 클리닝 솔루션 (cleaning solution) 의 흐름에 예상치 못한 중단이 발생할 경우 자동 차단 (automatic shut-off) 기능이 장착되어 장비나 챔버 벽 (chamber wall) 의 잠재적 오염을 방지합니다. TCP 9600SE는 다양한 고급 제어 기능도 제공합니다. 여기에는 조정 가능한 스프레이 (spray) 설정이 포함되며, 정확하고 반복 가능한 커버리지를 보장하고, 서로 다른 서피스 및 클리닝 요구 사항에 맞게 다른 설정으로 여러 클리닝 주기를 설정할 수 있습니다. 자산은 또한 스프레이 코팅 공정의 자동 재보정 (recalibration) 을 수행할 수 있으므로 수동 보정 (manual calibration) 이 필요하고 모델 성능이 향상됩니다. 결론적으로, LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 정확하고 제어 가능한 청소가 필요한 챔버 벽 및 기타 표면을 정확하고 반복 할 수있는 etcher/asher입니다. 특허를 획득한 기술로, 매우 훌륭하고 반복 가능한 커버리지 (coverage) 를 만들고, 안전성과 안정적이고 일관된 결과를 위한 고급 제어 기능을 제공합니다. 고성능 및 안전 기능이 결합된 LAM RESEARCH TCP 9600SE는 정확하고 안정적인 청소 프로세스를 찾는 사람들에게 적합한 선택입니다.
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