판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095947

LAM RESEARCH TCP 9600 SE etcher/asher는 에칭 및 애싱 분야에서 반도체 애플리케이션을 위해 설계된 고성능 자동 프로세스 도구입니다. 금속 에칭, 비등방성 규산염 에칭 (ASE), 형성을 통한 고급, 유전체 해싱 공정에서 우수한 결과를 얻기 위해 사용됩니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE 는 독보적인 원격 시각적 모니터링 시스템을 갖추고 있어, 원격 위치에서 프로세스 결과를 모니터링하고 평가할 수 있습니다. PVD (Advanced Physical Vapor Deposition) 소스를 사용하면 필름 균일성과 프로세스 제어가 향상됩니다. TCP 9600 SE는 유체 역학적 플래튼을 포함하며, 프로세스 처리량 증가뿐만 아니라 빠르고 정확한 결과를 제공합니다. 이것은 통합 된 3 구역 분리 시스템에 의해 보완됩니다. 고압, 저온, 가압 폴리머 트레이; 그리고 사용자가 더 높은 에치 속도를 달성 할 수있는 가열 된 에치 모듈. 또한 TCP 9600SE는 다기능 밸브 블록 및 통합 진공 시스템, 웨이퍼 트래커 (wafer tracker) 및 RF 생성기와 같은 다양한 내부 도구 및 기능을 통합합니다. 이러한 모든 기능을 통해 LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 시장에서 가장 강력하고 안정적인 etcher/asher 시스템 중 하나입니다.