판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095944

LAM RESEARCH TCP 9600 SE
ID: 9095944
웨이퍼 크기: 8"
Al etcher, 8".
LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 반도체 처리를 위해 설계된 에처/애셔입니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE는 사용자 친화적이고 신뢰할 수 있는 장비로, 정확하고 반복 가능한 프로세스 결과를 제공합니다. 9600 SE는 의료, 자동차, 태양 광 및 메모리 칩 생산 (예: 의료, 자동차, 태양 광 및 메모리 칩) 을 포함한 다양한 공정에서 웨이퍼의 효율적인 에칭 및 재싱을 위해 설계되었습니다. 이 시스템에는 신뢰할 수있는 가스 혼합 제어 장치, 2 개의 가열 쿼츠 서셉터 및 직관적 인 사용자 인터페이스가 장착되어 있습니다. 9600 SE 를 사용하면 광범위한 공통 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 작업을 정확하고 효율적으로 에칭하고 처리할 수 있습니다. TCP 9600 SE는 최대 1000 ° C의 온도와 최대 공정 압력 750 밀리바 (mbar) 를 생성하는 가열기를 가지고 있습니다. 이 도구에는 다양한 온도와 공정이 정확하게 수행 될 수있는 2 개의 쿼츠 감지기 (quartz susceptor) 가 장착되어 있습니다. 또한 현재 온도, 프로세스 압력 및 기타 매개변수를 정확하게 감지 할 수있는 고급 감지 에셋 (Advanced Sensing Asset) 이 특징입니다. TCP 9600SE 는 사용자 지정 기능이 뛰어나며, 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 개별 프로세스 레시피를 만들 수 있습니다. 이 모델은 또한 드라이 에칭 (dry etching) 및 습식 에칭 (wet etching) 을 포함한 다양한 에칭 프로세스를 지원할 수 있습니다. 또한 LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 안전성과 신뢰성을 고려하여 설계되었습니다. 이 제품은 일관성 있는 장착 압력, 온도, 프로세스 흐름을 유지하는 포괄적인 모니터링 장비를 갖추고 있습니다. 또한 공정의 정확성을 유지하기 위해 자체 점검 챔버 (self-checking chamber), 인터 록 (interlock) 및 이온 챔버 압력 제어 (ion chamber pressure control) 를 포함한 여러 가지 보호 기능으로 설계되었습니다. 마지막으로, LAM RESEARCH TCP 9600SE 는 사용하기 쉽고 간편한 사용자 인터페이스를 통해 매개변수, 프로세스, 모니터, 조정 등을 손쉽게 선택할 수 있습니다. 시스템의 모든 요소를 사용자가 조정, 모니터링할 수 있으며, 사용자는 나중에 사용할 수 있도록 레시피를 저장하고 로드 (load) 할 수도 있습니다. 신뢰할 수 있고 사용자 친화적 인 기능을 갖춘 TCP 9600 SE는 반도체 처리에 이상적인 어처구니입니다.
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