판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095943

LAM RESEARCH TCP 9600 SE
ID: 9095943
웨이퍼 크기: 8"
Al etcher, 8".
LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 플라즈마 기반 재료 에칭을 위해 설계된 고정밀 에처/애셔입니다. 고급 기능을 통해 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있으며, 이는 연구, 개발, 볼륨 생산에 이상적입니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE (LAM RESEARCH TCP 9600SE) 는 고해상도 박막 에칭을 제공하며 다양한 업종의 고급 어플리케이션 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 초고속, 정밀 제어, 정확한 패턴화 (patterning) 기능을 통해 연구 및 현대 제조에 이상적입니다. 이 장비는 건조 플라즈마 작동을 사용하며 저압 또는 대기, 광학 또는 귀납성, 넓은 영역 또는 간격 (gap-fill) 을 포함한 여러 프로세스를 지원합니다. 자동 웨이퍼 로딩 (automated wafer-loading) 시스템을 사용하면 배치 간의 프로세스 매개 변수를 빠르고 쉽게 조정할 수 있으므로, 수동 작업과 관련된 다운타임과 비용을 줄일 수 있습니다. 이 장치는 또한 정교한 프로세스 모니터링과 그리드 다이빙 (grid dicing) 및 장애 감지 (fault detection) 를 통합하여 탁월한 프로세스 제어를 제공합니다. 자동 튜닝 기능은 반복 가능한 결과를 위해 프로세스 매개 변수를 세밀하게 반복적으로 최적화합니다. TCP 9600 SE는 또한 뛰어난 열 관리, 발열 지원, 과도한 온도 때문에 기계의 부품 손상 방지, 정확도 및 정밀도 향상 등을 제공합니다. 내장 안전 기능은 과전압, 전류, 고온, 먼지 또는 가스 축소와 같은 잠재적 위험 (potential hazard) 으로부터 공구와 운영자를 보호합니다. 이 자산은 110/220-V AC 전원 회선에서 실행되도록 설계되었으며 Class 10/ISO 4 청소실에서 작동 할 수 있습니다. TCP 9600SE는 최신 에칭 어플리케이션과 관련된 다양한 과제를 해결하여 뛰어난 성능과 정확성을 제공합니다. 견고한 디자인, 신뢰성, 정확성으로 인해 수많은 산업 에칭 어플리케이션을위한 최고의 선택이되었습니다.
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