판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9095942

LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 강력한 차원 제어 및 프로세스 균일성을 제공하도록 설계된 고성능 RIE (reactively ion etched) 및 애셔 장비입니다. 이 시스템은 대용량, 통합 프로세스 챔버 (integrated process chamber) 및 자동화된 로드록 (loadlock) 을 갖추고 있어 볼륨 생산에 비용 효율적인 솔루션이 됩니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE는 또한 고급 프로세스 제어, 다중 프로세스 레시피, 자동화된 서브시스템을 갖추고 있어 대용량 제조 애플리케이션의 안정적인 파트너가 됩니다. TCP 9600 SE는 고급 공정 챔버 (Advanced Process Chamber) 를 특징으로하며, 높은 에치 속도와 우수한 공정 균일성을 제공하며 다양한 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 화학 물질을 제공합니다. 넓은 챔버는 또한 프로세스 처리량을 높이고 비용을 절감합니다. 또한 이 장치에는 완전하게 통합된 로드록 (loadlock) 머신이 장착되어 있어 빠른 샘플 로딩을 가능하게 합니다. TCP 9600SE에는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 전반에 걸쳐 뛰어난 웨이퍼 보호를 보장하는 고속 자동 웨이퍼 캐리어 및 처리 도구도 포함되어 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 최적의 프로세스 균일성 및 반복성을 위해 정확한 레시피 제어를 지원하는 고급 프로세스 제어 (process control) 자산을 갖추고 있습니다. 이 모델은 여러 프로세스 레시피를 제공하며, 이를 통해 사용자는 특정 응용 프로그램에 대한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE의 프로세스 제어 장비 (process control equipment) 도 에치 균일성을 최대화하기 위해 웨이퍼 평탄성을 고려합니다. TCP 9600 SE는 광학 정렬 및 분광 방출 측정을 포함하여 다양한 현장 모니터링 및 도량형을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 또한 터치 스크린 (touch screen) 과 그래픽 사용자 인터페이스 (graphical user interface) 를 통해 사용자가 프로세스 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. TCP 9600SE는 사용 가능한 대부분의 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 화학 물질과 호환되도록 설계되었으며, 빠르고 반복 가능한 샘플 로딩을위한 로드 록 (loadlock) 및 웨이퍼 처리 구성 요소를 포함한 다양한 액세서리를 제공합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 높은 처리 처리량, 단단한 차원 제어, 뛰어난 프로세스 제어 및 균일성을 제공하는 고급 에칭 및 애싱 장치입니다. 완전하게 자동화된 로드록 머신 (loadlock machine), 다중 프로세스 레시피 (multiple process recipe) 및 현장 도량형 (in-situ metrology) 기능을 통해 대용량 산업 애플리케이션의 신뢰할 수 있는 파트너가 됩니다.