판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293820921

LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 중요한 표면 및 장치 처리를 활성화하는 데 사용되는 고급 에처/애셔입니다. 이 고급 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 장비는 최소한의 바이오 오염 위험과 최고 수준의 전체 처리량 및 프로세스 제어를 통해 정밀 웨이퍼 패턴화를 가능하게 합니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE는 RTP, 에칭, 탈산화, 확산 프로세스 및 플라즈마 재싱을 포함한 다양한 응용 분야에 적합합니다. TCP 9600 SE는 4 개의 독립적으로 제어되는 챔버가있는 단일 주택으로 구성됩니다. 각 챔버에는 플라즈마 소스, 차폐 하드웨어, 개인 웨이퍼 리프트 및 대기 제거 컨트롤 패널이 포함되어 있습니다. 이 시스템에는 먼지 포함 환경을 만들기 위해 온도 조절 해치가 있습니다. 한 번에 최대 10 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 웨이퍼의 크기는 최대 200mm (직경) 입니다. 이 장치에는 여러 가지 고급 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스가 장착되어 있어 개별 애플리케이션의 요구에 맞게 개별적으로 조정할 수 있습니다. 여기에는 고급 플라즈마 제어 기술 (Plasma Control Technology) 이 포함되며, 민감한 칩 영역의 직접적인 증착을 피하고 균일 한 증착률을 유지합니다. 레이저 보조 에칭 및 애싱 및 고급 냉각 시스템. 이 기술을 통해 기계는 뛰어난 정밀도 에치 (etch) 와 재 (ash) 결과를 전달하고 온도를 제어하여 앵커리스 (anchorless) 어닐링 환경을 만들 수 있습니다. 이 도구는 또한 오염 문제로부터 웨이퍼 보호, 에치 (etch) 및 애쉬 레시피 최적화, 프로세스 결과의 엔드포인트 및 품질 모니터링 (monitoring) 을 지원하는 고급 알고리즘을 제공합니다. 레시피 개발은 프로세스 재생성과 품질을 극대화하도록 최적화되었습니다. 전체적으로 TCP 9600SE 는 강력한 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 자산으로 다양한 애플리케이션에서 뛰어난 결과를 얻을 수 있습니다. 플라즈마 제어 (Plasma Control), 레이저 보조 에칭 (Laser Assisted Etching), 고급 냉각 시스템 (Advanced Cooling System) 과 같은 고급 기능을 통해 모델의 정밀도, 품질 에칭 및 애싱 결과를 제공할 수 있습니다. 이 장비는 사용, 유지 보수, 최고의 처리 결과를 제공하도록 설계되었습니다.