판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293757625
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ID: 293757625
Etcher, 8"
APM
Bias
Operator interface: Bulk head
Indexer: Hine 38A
715-331131-002 Fixed gao middle chamber
716-330122-003 Plate top ceramic
853-032190-008 TCP Matcher
853-330951-021 Bias matcher
Wafer clamping : ESC (Notch)
RF Generator
Chamber manometer: 3Torr
ALCATEL ATH-1300M Turbo pump
Pressure controller
Main: Vat valve, 64 PM and PM5
MDVX-018 & AC-2 DSQ
DSQ Hinged
DSQ Matcher
Heated paddle
WVDS Manual fill
Chamber heater controller: 12 Loop external anafaze
Orbitally welded gas box: (8) Gases
Closed loop He Cooling: UPC8130 and Tylan CDL-12S13 (20 Torr)
Remote power module: Main 175A Remote
Power module
C/B Hardware
Load station:
Belt type shuttle
Standard edge
Detector
Load lifter.
LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 고속 프로세스를 위해 설계된 에처 (etcher) 또는 애셔이며 습식 벤치 기술의 한 유형입니다. 이 에처는 단일 챔버에서 플라즈마 에칭 (plasma etching) 및 애싱 (ashing) 과 같은 공정을 수행 할 수 있으며, 에칭 (etched) 및 애쉬 (ashed) 재료는 동일한 플랫폼에서 별도로 전달됩니다. 9600 SE는 5 미크론/분의 표준 에치 레이트와 최대 100 미크론/분의 애싱 레이트를 제공합니다. 플라즈마 에처 (Plasma etcher) 는 저주파 유도 보조 공정과 일관된 유량 (flow rate) 을 사용하여 에칭 또는 재시 된 재료의 균일성을 보장한다. 이 장치에는 플라즈마 생성 프로세스를 제어하는 고급, 내장 컨트롤러가 있습니다. 컨트롤러는 일관된 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 과정을 수행하기 위해 온도, 압력 및 기타 조건을 다시 공급하는 일련의 센서로 장치에 연결되어 있습니다. 또한 컨트롤러는 플라즈마 (Plasma) 공정의 자동화된 작동을 제공하고 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 공정 중에 사용되는 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE는 다른 습식 벤치 기반 에칭 또는 애싱 시스템과 비교할 때 사용 및 유지 관리가 용이하도록 설계되었습니다. 이 장치는 다양한 사용자 요구를 충족할 수 있는 쉽게 조절 가능한 높이 (높이) 로 인체 공학적으로 설계되었습니다. 또한 9600 SE 는 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 매개변수를 입력할 수 있는 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 설정이나 작업을 신속하게 조정할 수 있습니다. 에처 (etcher) 또는 애셔 (asher) 는 스테인리스 스틸 챔버로 구성되어 일관되고 신뢰할 수있는 청소가 가능합니다. 약실은 가변 전력으로 가열되어 일관된 에칭 (etching) 또는 애싱 온도를 유지합니다. 확장 벨을 사용하면 추가 재료가 필요한 경우 엑스트라 에칭 (extra etching) 또는 애싱 (ashing) 볼을 추가 할 수 있습니다. TCP 9600 SE는 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 프로세스로 인한 위험한 연기를 포착하기 위해 다기능 푸메 후드를 장착합니다. 후드 (hood) 는 쉽게 조절 가능하도록 설계되었으며, 다양한 유해 재료 수집 요구에 맞게 다양한 공기 흐름 구성을 제공합니다. 전반적으로 TCP 9600SE는 효율적이고 비용 효율적인 운영을 위해 설계된 효과적인 습식 벤치 기반 etcher 또는 asher입니다. 이 장치는 고속 (High-Speed) 프로세스를 필요로 하고, 사용하기 쉽고, 사용 및 유지 관리가 필요한 사람들에게 신뢰할 수 있는 선택입니다.
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