판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #293595662

LAM RESEARCH TCP 9600 SE etcher/asher는 실리콘, 금속 및 세라믹을 포함한 다양한 기판을 에칭하고 애시하는 데 이상적인 안정적이고 사용자 친화적 인 시스템입니다. 이 제품은 통합 회로와 고급 패키징 (Packaging) 어플리케이션과 호환되는 고품질 (High-Quality) 부품과 풍부한 기능의 부품을 생산할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE의 고급 기능은 신뢰할 수 있고 강력한 성능과 쉽게 결합하여 뛰어난 성능을 제공합니다. TCP 9600 SE에는 에칭 (etching) 기능과 애싱 (ashing) 기능을 모두 제공하는 이중 기능 챔버가 장착되어 있어 기능 간 빠른 점프를 위한 완벽한 선택입니다. 또한 2 단계 교반이 특징이며, 복잡한 식각 기판에서도 빠르고 꾸준한 재싱이 가능합니다. TCP 9600SE는 고급 수준의 프로세스 제어를 제공하며, 최대 8 개의 프로그래밍 가능한 레시피 단계와 프로세스 유연성을 높이기 위해 다양한 플라즈마 작동 모드를 제공합니다. 자동 모니터링 시스템은 정확한 레시피 제조 및 임베디드 안전 기능을 갖춘 LAM RESEARCH TCP 9600 SE (LAM RESEARCH TCP 9600 SE) 를 통해 클린 룸 작업에 적합합니다. 또한 수동화 기능을 제공하여 eV 산화물 화학량 측정법 (low-eV oxide stoichiometry) 과 낮은 입자 레벨로 표면을 준비 할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE는 깊은 참호를 식각 할 수있는 것만 같으며, 고급 불소 지원 공정은 유전체를 정확하게 제거하고 먼지 입자를 효과적으로 제거 할 수 있습니다. TCP 9600 SE에는 편리한 터치스크린이 장착되어 있으며, 최대 12 인치 크기의 기판을 처리할 수 있어 현대의 에칭 프로세스 요구를 충족시킵니다. 이 시스템은 온도와 압력 제어 (Pressure Control) 도 매우 정확하므로 다양한 기판에 대한 최적의 프로세스 (Optimal Process) 를 만들어 손상 수준을 낮출 수 있습니다. 자동화된 프로세스 레시피는 한 번만 지정해야 하며, 이는 지루한 설치/정렬 단계를 방지하는 것입니다. TCP 9600SE 는 하나의 중앙 소프트웨어 플랫폼에서 모든 프로세스 단계와 결과 데이터를 관리하고 프로세스 레시피, 진단, 서비스, 기술 지원을 완벽하게 추적합니다. 따라서, 고급 반도체 및 패키징 (Packaging) 애플리케이션에 사용할 대용량, 고품질 부품을 효율적으로 생산할 수 있는 최적의 선택입니다.