판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #131567

LAM RESEARCH TCP 9600 SE는 반도체 장치, MEMS 및 기타 구성 요소에 사용되는 멀티 챔버 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 중요한 컴포넌트의 정확한 에칭 및 재싱을 가능하게하는 3 챔버 설계를 갖추고 있습니다. 각 챔버 (chamber) 의 온도는 균일 한 온도를 보장하도록 제어 할 수 있으며, 사용되는 다양한 기판에 대해 프로세스 매개변수를 조정할 수 있습니다. 통합 정밀 처리 장치는 반복 가능한 결과를 보장하며, HEPA (High-Efficiency Particulate Air) 필터에 의해 기계의 깨끗함이 보장됩니다. LAM RESEARCH TCP 9600SE (LAM RESEARCH TCP 9600SE) 는 에칭 및 애싱 프로세스 전반에 걸쳐 일관된 가스 흐름을 제공하는 안정적이고 안전하며 효율적인 도구입니다. 또한 조정 가능한 유속 (flow rate) 을 가진 쿼츠 쇼어 헤드 (quartz showerhead) 가 포함되어 있으며, 균일 한 에칭/애싱 패턴을 제공할 수 있으며, 크기, 패턴 및 프로세스 매개변수를 빠르고 쉽게 설정할 수 있는 자동 교정 에셋이 있습니다. TCP 9600 SE의 챔버 (chamber) 는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성되며 저압, 고속 가스 샤워를 제공하는 엔탈피 송풍기로 구성됩니다. "가스 샤워 '는" 에칭' 과 "애싱 '제품 을 골고루 분배 하는 데 사용 되며 오염 으로부터 성분 을 보호 한다. 이 모델에는 에칭 및 애싱 프로세스 전반에 걸쳐 일관된 챔버 압력 및 온도를 보장하는 드라이 링 (dry-ring) 및 습식 링 (wet-ring) 진공 장비가 포함되어 있습니다. TCP 9600SE는 다양한 기판 구성에서 사용하도록 설계되었습니다. 알루미늄, 실리콘, 유리 기판, 스테인리스 스틸, 백금, 텅스텐 및 하드 골드와 같은 다른 재료와 호환됩니다. 고밀도 폴리에틸렌, 폴리 이마이드 및 카프 턴 (Kapton) 과 같은 다른 기질도 시스템과 함께 사용할 수 있습니다. 이 장치는 손쉬운 유지 보수 및 수리 (maintenance and repair) 를 위해 설계되었으며, 운영자가 시스템 성능을 모니터링하여 최대 가동 시간을 보장할 수 있는 소프트웨어 패키지를 포함합니다. 또한 LAM RESEARCH TCP 9600 SE 는 원격 모니터링 기능을 제공하여, 기술자가 필요에 따라 데이터를 액세스하고 조정할 수 있도록 하며, 표준 프로세스를 신속하게 선택, 구현할 수 있는 레시피 라이브러리에 액세스할 수 있습니다. 결론적으로 LAM RESEARCH TCP 9600SE (LAM RESEARCH TCP 9600SE) 는 효율적이고 정확한 기계로, 구성 요소를 원하는 모양과 크기로 에칭 및 재싱하기에 적합합니다. 고급 온도 제어, 정밀 처리 시스템, 균일 한 가스 분배, 사용자 정의 가능한 소프트웨어를 갖춘 반도체 장치 제작에 이상적인 도구입니다.