판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 CFE #9296670

LAM RESEARCH TCP 9600 CFE는 LAM RESEARCH Corporation에서 개발 한 고급 에처/애셔입니다. 이 장비는 최신 에칭 및 애싱 기술을 통합합니다. 매우 높은 생산성 설계를 갖추고 있으며, 빠르고 안정적인 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 지원하는 사용이 간편한 플랫폼을 제공합니다. LAM RESEARCH TCP 9600CFE는 가볍지만, 닫힌 루프, 저압 작동으로 내구성이 뛰어나 일관된 에칭 및 애싱 프로세스를 보장합니다. 다양한 기판에 걸쳐 매우 균일 한 증착이 있으며 3 개의 컬러 비디오 카메라로 구성된 네트워크를 통해 솔리드 스테이트 (solid-state) 광 디지털 방출 제어 (optical digital emission control) 가 특징입니다. 이 디지털 방출 제어 시스템은 일관되고 안정적인 결과를 보장합니다. TCP 9600 CFE에는 고급 플라즈마 토치 기술을 활용하는 3 개의 고효율 전기 옵틱 헤드 (electro-optic head) 가 장착되어 있으며, 최고 품질의 에칭 및 애싱 프로세스를 위해 이온 빔 추출 장치를 갖추고 있습니다. 이를 통해 기판 분해가 최소화되고 미세 선 에칭 (fine line etching) 과 높은 종횡비 애싱 (aspect ratio ashing) 이 달성됩니다. TCP 9600CFE는 확장 가능한 모듈식 플랫폼으로, 단일 웨이퍼 (single-wafer) 또는 배치 처리 (batch-processing) 를 수용하도록 업그레이드할 수 있으며 효율적인 웨이퍼 간 동기화를 제공합니다. 또한 다중 위치 기판 (multi positional substrate) 포지셔닝을 제공하며 가스 전달 및 배기 (exhaust) 와 같은 다른 지원 시스템과 쉽게 통합 할 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH TCP 9600 CFE는 LAM RESEARCH Corporation에서 설계 및 제조 한 고급 에처/애셔입니다. 다양한 기판과 3 개의 고효율 전기 광학 헤드 (electro-optic head) 에 균일 한 증착을 갖춘 가볍고 내구성이 뛰어난 기계입니다. 또한 단일 웨이퍼 (Single-Wafer) 또는 배치 처리 (Batch-Processing) 를 수용하도록 업그레이드할 수 있으며 가스 전달 (Gas Delivery), 배기 (Exhaust) 와 같은 다른 지원 시스템과 쉽게 통합될 수 있습니다.