판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 CFE #293809931

LAM RESEARCH TCP 9600 CFE는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 처리에 사용되는 에처/애셔입니다. TCP 에처 (etcher) 및 애셔 (asher) 제품군의 일부이며, 처리량을 손상시키지 않고 고품질 웨이퍼 처리를 달성하도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH TCP 9600CFE는 고속 챔버를 제공하며 자동 웨이퍼 추적 (wafer tracking) 과 에치 및 애싱 레시피의 정확한 튜닝을 허용하는 정교한 챔버 컨덕턴스 기능을 갖추고 있습니다. 이를 통해 웨이퍼에 생성 된 박막 구조에서 뛰어난 제어와 균일성을 얻을 수 있습니다. TCP 9600 CFE 챔버에는 폴리 실리콘 (polysilicon) 에서 로우-k (low-k) 유전체까지 광범위한 재료를 처리 할 수있는 다양한 조정 가능한 매개변수가 있습니다. 이 챔버에는 또한 높은 에치 레이트를 가능하게하는 크고 균질 한 플라즈마 챔버 (plasma chamber) 가 있습니다. 챔버에는 2 개의 개별 에처와 애셔가 포함되어 있으며, 2 개의 다른 재료를 동시에 처리 할 수 있습니다. 이 챔버에는 고급 자동화 (Advanced Automation) 및 정밀 온도 제어 (Precision Temperature Control) 기능이 있어 정확하고 일관된 에칭 결과를 얻을 수 있습니다. TCP 9600CFE 에처/애셔 (etcher/asher) 는 최첨단 램 와셔 시스템 (Lam Washer System) 과 함께 사용하도록 설계되었습니다. Lam Washer System (Lam Washer System) 에는 메모리, 진단 및 문제 해결 기능이 내장되어 있어 고밀도 박막 레이어를 일관되고 안정적으로 처리할 수 있는 탁월한 솔루션입니다. LAM RESEARCH TCP 9600 CFE는 웨이퍼 (wafer) 에 생성된 박막 구조에서 뛰어난 균일성을 통해 높은 처리량과 반복 가능한 작동을 달성하기 위한 탁월한 도구입니다. 고급 자동화 (automation), 정밀 온도 제어 (precision temperature control) 및 다양한 처리 가능한 재료는 고밀도 레이어를 에치하거나 애시해야하는 반도체 장치 제작과 같은 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다. 사용자에게 친숙한 인터페이스와 안정적인 성능을 제공하므로 고품질 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 필요로 하는 사용자에게 탁월한 선택이 가능합니다.