판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9600 CFE #293809929

LAM RESEARCH TCP 9600은 고성능 포토 마스크 제작 및 장치 처리를 위해 설계된 고급 애셔입니다. 이 asher는 반도체 포장, 광전자, IC (integrated circuit) 제조 및 결합 된 웨이퍼 제조와 같은 응용 분야에 적합합니다. 이 장치는 일반적으로 독립형 장비 또는 클러스터 시스템의 일부로 설치됩니다. LAM RESEARCH TCP9600은로드 락 챔버와 2 개의 에칭 챔버로 구성된 단일 챔버, 오픈 프레임 에칭 장치입니다. 에칭 챔버에는 고압 AR/O2 플라즈마 소스와 회전 양극 HF 소스가 장착되어 있습니다. 플라즈마와 HF 소스는 유연성을 제공하여 에칭 속도가 다른 다양한 재료를 에칭할 수 있습니다. 이 기계는 6 인치 (150mm) 직경 웨이퍼 및 쿼츠, 사파이어 등을 포함한 다양한 특수 기판과 호환됩니다. 이 도구에는 RED (Integrated Real-Time Endpoint Detection Asset) 가 있으며, 이를 통해 모델은 높은 수준의 정밀도로 에치할 수 있습니다. RED 장비는 교정 프로세스를 자동화하고, 학습 알고리즘은 최적의 에칭 결과를 보장합니다. 또한, 이 시스템에는 고급 닫힌 루프 (closed-loop) 프로세스 제어가 포함되어 있으며, 이를 통해 사용자는 종점 탐지를 최적화할 수 있습니다. TCP-9600 유닛에서, 고급 기판 동작 제어 알고리즘은 정확한 기판 배치 및 균일 한 에칭을 가능하게한다. 이러한 알고리즘은 또한 기판 온도를 설명하며, 이는 균일 한 열 생성 및 균일 한 에칭을 보장합니다. 이 기계에는 통합 안전 인터 록 (Safety Interlock) 도구, 비상 정지 버튼, RF 지원 안전 자산 등 수많은 안전 조치가 장착되어 있습니다. 즉, 항상 안전하고 안정적인 장치 작동을 보장합니다. 이 모델은 사용하기 쉽고 유지 관리가 용이하도록 설계되었습니다. 이 장비에는 간단한 작동 화면이 있으며, 작동 오류에 대해 이해하기 쉽고 명확한 피드백 (feedback) 이 있습니다. 이 시스템은 온도 컨트롤러 (temperature controller), 온도 모니터 (temperature monitor) 및 압력 센서 (pressure sensor) 를 갖추고 있어 모든 프로세스를 추적할 수 있습니다. 또한, 오류 경고 장치는 비정상적인 작업을 조기에 감지하는 데 도움이됩니다. TCP9600 (TCP9600) 은 고성능 포토마스크 제작 및 장치 처리를 위해 설계된, 고급적이고 신뢰할 수 있는 애셔입니다. 이 장치는 정확한 기판 배치, 균일 한 에칭 및 고급 안전 기능을 제공합니다. 간단한 작업 및 유지 관리를 통해 이 시스템의 사용을 더욱 단순화할 수 있습니다.