판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9408 SE #9178710

LAM RESEARCH TCP 9408 SE는 안정적인 에칭, 애싱 및 결합 된 에치/애쉬 프로세스를 제공하는 고급 열 제어 장비를 갖춘 정밀 에처/애셔입니다. 이 시스템은 수평으로 실리콘화 된 챔버 벽을 가지고 있으며, 순수한 물로 기계적인 충격, 플랫 및 린싱을 줄입니다. 사용자 친화적이고 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 작업을 대폭 단순화할 수 있습니다. 이 장치는 금속, 실리콘, 세라믹 및 유리를 포함한 다양한 기판을 처리하도록 설계되었습니다. TCP 9408 SE에는 일정한 압력 및 온도 조절을 제공하는 헬륨 플러시 가스 머신이 있습니다. 이 도구는 처리 시간 (process cycle time) 이 가장 빠르고 시간당 최대 14 개의 챔버 사이클 (chamber cycle) 을 갖도록 설계되었습니다. etch/ash 프로세스 시간은 기판 유형 및 프로세스 매개 변수에 따라 5 분에서 7 분 사이입니다. 또한, 에셋에는 최대 5 개의 프로세스 레시피가 있으며, 이를 통해 사용자는 다른 응용 프로그램에 대한 레시피를 저장하고 리콜 할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9408 SE는 더 큰 부품과 더 높은 에치/애쉬 로드를 수용 할 수있는 강력한 디자인을 갖추고 있습니다. 이 모델은 최대 2kg의 재료를 처리 할 수 있으며, 부하 크기는 4 ~ 6cm입니다. 또한 다른 크기/모양 부품을 수용하기위한 측면, 동력 챔버 및 커버 이동이 포함됩니다. TCP 9408 SE 장비는 1 미크론 가열 스테이지가있는 고해상도 작업 챔버를 가지고 있습니다. 공정 챔버는 전자적으로 가열되며, 온도 범위는 최대 1050 ° C입니다. 또한, 시스템의 냉각 범위는 -60 ° C인 가열 단계 (옵션) 의 냉각이 있습니다. 이 장치는 etch/ash 매개 변수에 대한 완전한 모니터링 및 제어를 제공합니다. 헬륨 플러시 압력, 온도 및 냉각 속도. 또한 자동 주기 중지 (Automatic cycle stop) 및 가스 관리 시스템 (gas management machine) 이 있습니다. 여기서 사용자는 프로세스 매개변수와 주기 시간을 모니터링할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9408 SE는 Safety-lock 덮개, Double-pinch hermetic O-ring seal, Interlock and overload detection, 결함 격리 도구 등 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이 자산은 최적의 위험 환경 제어 (Hazardous Environment Control) 및 사용자 안전 (User Safety) 을 위해 설계되었습니다. 결론적으로, TCP 9408 SE는 고급 열 제어 모델을 갖춘 안정적이고 견고한 etcher/asher입니다. 이 제품은 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 와 안전 (safety) 기능을 제공하며 프로세스 주기 시간이 빠르고 처리량이 높습니다. 이 장비는 고해상도 작업 실 (work chamber) 과 사용자 친화적 인 GUI를 통해 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다.