판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9408 SE #9178705

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에처/애셔
제조사
LAM RESEARCH
모델
TCP 9408 SE
ID: 9178705
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2004
Poly etcher, 8" Software version: 1.6.012A SMIF System: (2) ASSYST Process chemicals: SCCM (1) AC Power box (2) RF Racks TCP RF Match part no: 853-032294-002 Bias RF match: 853-330951-001 ESC Power supply: 810-017086-018 Chamber manometer MKS make (All): E29B-23813 Turbo manometer MKS make (All): 625A-14375 Ref manometer MKS make (All): 625A-14059 Turbo pump: STPH1301L1B TCP RF Gen.AE make(All): 660-024637-006 RFDS Bias RF Gen.AE make( All): 3155027-003 B Wafer drag back: Enable Wafer offset alignment alignment: 310 Gas ring capacitance: 1300+/- 15 pf Software version: 1.6.1 MFC Config.CL2-200 sccm: 200 MFC Config.O2-100 sccm: 100 MFC Config.HE/O2-20 sccm: 20 MFC Config.CF4-100 sccm: 100 MFC Config.HBR-500sccm: 500 MFC Config.SF6-100 sccm: 100 MFC Config.HE-500 sccm: 500 MFC Config.CL2-30 sccm: 30 TCP Coil position: 8 O'CLK Turbo pump capacity: 1300L Vat valve / Pendulum valve: Pendulum 2004 vintage.
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LAM RESEARCH TCP 9408 SE는 강력한 독립형 에처 및 애셔 장비입니다. 반도체 업계의 가장 까다로운 요구사항을 충족시키는 고성능 실리콘 웨이퍼 에처 (silicon wafer etcher) 와 애셔 시스템 (asher system) 으로, 다양한 소재를 처리할 수 있는 기능을 사용자에게 제공한다. 이 장치는 고속, 고품질 로터리 에치 헤드 (etch head) 를 갖춘 정밀 설계, 고도로 자동화 된 플랫폼으로, 뛰어난 플라즈마 균일성을 제공하고 에치 시간을 줄입니다. 기계 기능에는 온도 조절 터보 펌프 (turbo-pump), 최대 반복성 및 균일성으로 에칭 및 애싱 (ashing) 및 하이엔드 프로세스 제어가 포함되어 있으며, 에치 속도, 오버에치, 필름 두께 및 엔드 포인트를 정확하게 제어 할 수있는 기능을 제공합니다. TCP 9408 SE에는 고급 온보드 QCM/PCM/FIB 검출기와 오프보드 질량 분광기가 장착되어 있어 정확한 엔드 포인트 검출이 가능하여 정확한 에치 및 애싱 (ashing) 이 가능합니다. 또한, 이 툴은 완벽하게 프로그래밍 가능하며, 다양한 레시피를 만들고 저장하고, 신속하게 리콜하고, 다운타임을 최소화하면서 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 수행할 수 있습니다. 사용자 인터페이스는 직관적이고 사용자 친화적이며, 운영자가 모든 프로세스를 편리하게 제어, 모니터링할 수 있습니다. 또한 사용자 인터페이스에서 제공되는 다양한 진단/프로세스 모니터링 툴 (Diagnostics and Process Monitoring Tools) 을 통해 최상의 전체 프로세스를 선택하고 검토할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9408 SE는 정확하고 견고한 에치 (etch) 및 애쉬 (ashing) 기능을 제공하여 프로세스 처리량을 그대로 유지하면서 최고의 수준의 프로세스 균일성을 실현합니다. 이 자산은 실리콘 에칭 (silicon etching), 스트레스 릴리프 (stress relief) 및 도펀트 스퍼터링 (dopant sputtering) 과 같은 에칭 및 애싱 프로세스에 완벽하게 적합하며 III-V 및 high-k 유전체를 포함한 모든 유형의 재료에 뛰어난 성능을 제공합니다. 전반적으로 TCP 9408 SE는 뛰어난 에처 (etcher) 및 애셔 (asher) 모델로 반도체 제조의 프로세스 반복성, 생산성 및 품질을 더욱 향상시킵니다.
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