판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9408 SE #9014916

LAM RESEARCH TCP 9408SE Asher (LAM RESEARCH TCP 9408SE Asher) 는 대량 생산 및 공정 개발의 요구 사항을 처리하는 데 적합한 매우 정확하고, 중형, 증기 위상 습식 도구입니다. Asher는 오늘날의 최고의 photomask 프로세스에 필요한 정밀도, 처리량 및 반복 가능성을 제공합니다. 이 제품은 다양한 전문 프로세스 복잡성 (Specialized Process Complexies) 을 처리하고, 최소한의 사용자 노력과 최소한의 프로세스 주기 (Process Cycle) 를 지원하도록 설계되었습니다. 프로세스 매개변수의 자동 미세 제어 (예: 흐름 속도, 온도, 압력, 주기 시간) 를 포함하여 다른 에칭 시스템에 비해 다양한 이점을 제공합니다. 증기 성, 단열 에칭 프로세스를 사용하여 일관되고 최적의 에치 프로세스를 제공합니다. 그러면 수동 프로세스 조건 최적화가 제거됩니다. 초정밀 디지털 흐름 제어는 임계 치수를 균질화하지 않고 최대 에치 속도를 보장합니다. 온도 및 압력 안정성은 에치 레이트 (etch rate) 및 기판 온도에 대한 넓은 프로세스 창을 제공합니다. 수동 프로세스 모니터링 없이 에칭 프로세스 조건에 대한 실시간 모니터링을 제공하는 프로세스 로그 (process log) 를 갖춘 직관적인 Windows 기반 터치스크린 사용자 인터페이스가 있습니다. 안정적이고 검증된 Asher DV12 프로세스 기술은 프리미엄 성능과 진정한 프로세스 다용성을 제공하며 3 년간 무상수리가 제공됩니다. 유연하고 컴팩트한 디자인으로, 설치가 쉽고, 기존의 습식 에칭 시스템에 비해 최소한의 공간이 필요합니다. 전원이 공급되는 웨이퍼 히터 (wafer heater) 와 전면 패널로 직접 연결되는 온도, 압력 및 흐름 제어 (flow control) 를 사용할 수 있습니다. 에치 (etch) 화학 물질을 위한 통합, 자동 소스 가스 전달 시스템 (automated source-gas delivery system) 을 제공하며, 에칭 중 사이클과 압력 및 온도의 자동 제어를 통해 챔버를 자동으로 제거합니다. TCP-CN-9408SE Asher에는 Power-on Safety 스위치와 비상 오프 스위치도 장착되어 있습니다. 또한 애셔 (Asher) 는 프로세스 레시피를 사용자 설명서와 함께 저장할 수 있는 기능을 제공하여 프로세스 화학 물질 (process chemistry) 이나 프로세스 매개변수 (process parameter) 의 빠른 스위치를 활성화합니다. 이것은 완전한 프로세스 추적 성과 반복성을 보장하며, 대용량, 복잡한 포토 마스크 (photomask) 생산에 적합합니다. TCP-CN-9408SE Asher 는 TCO (소유 비용) 를 최소화하면서 고객의 처리량을 극대화하는 이상적인 솔루션입니다.