판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400B #9402507

LAM RESEARCH TCP 9400B는 공정 제어 요구 사항이 엄격한 반도체 장치 제작을 위해 특별히 설계된 고정밀 에처 및 애셔입니다. 특허를 받은 가스 캐비닛을 통해 TCP 9400B 는 다른 모델보다 더 높은 처리량으로 더 빠르고, 더 균일한 결과를 얻을 수 있습니다. 업계 최고의 성능과 신뢰성을 제공하여 MEMS, RF, Advanced FTIQ, Ultra-Thin 웨이퍼 프로세싱과 같은 미션 크리티컬 애플리케이션에 적합합니다. LAM RESEARCH TCP 9400B의 가스 캐비닛 (gas cabinet) 기술은 챔버 벽을 통해 추출 될 때 가스 분자를 제거하여 훨씬 더 나은 균일성과 에칭 속도를 초래합니다. 이 개선 된 프로세스 제어는 더 작은 언더컷, 더 나은 프로파일 적합성 및 더 적은 공백을 의미합니다. 특허를받은 삼각 상-시프트 마그네트론 소스는 두꺼운 필름 에칭에 95% 이상의 균일 성을 제공합니다. 고급 PID 제어 시스템은 자동 주파수 튜닝 (Automatic Frequency Tuning) 과 에치 조건을 지속적으로 모니터링하는 True-to-Life 모델을 갖추고 있습니다. 이 기계는 단일 척 (chuck) 과 2 개의 공정 챔버 (process chamber) 를 가지고 있으며, 사용자는 시스템을 종료하지 않고도 동일한 작업에서 에치 앤 애셔를 할 수 있습니다. 2 ~ 6 인치의 기판 크기와 최대 11,000 rpm의 회전 속도를 지원합니다. 공정 온도 범위는 -10 ° C ~ + 400 ° C이며, 거의 모든 유형의 에칭 및 애싱 프로세스와의 호환성을 보장합니다. 다른 기능으로는 24 비트 내장형 LCD 디스플레이, NARC 2 (Network Addressable Remote Control) 프로토콜을 사용한 이더넷 연결, 특허를 받은 저소비 전원 공급 장치 설계 및 통합 버스트 압력 알림 시스템 및 정전기 방전 (ESD) 보호. TCP 9400B는 뛰어난 신뢰성, 정확성 및 반복성을 제공합니다. 첨단 프로세스 제어 (process control) 기술과 혁신적인 설계를 통해 정밀 에칭 및 애싱 (ashing) 어플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다.