판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 #9313523

LAM RESEARCH TCP 9400은 고정밀도, 고출력 에처이며 포토 마스크 생산 및 기타 리소그래피 응용 프로그램을위한 애셔입니다. 이 벤치탑 에처 (benchtop etcher )/애셔 (asher) 는 탁월한 프로세스 균일성과 반복성을 제공하며, 정밀한 설계로 인해 탁월한 에칭 성능을 제공 할 수 있습니다. TCP 9400은 습식 (wet) 및 건식 에칭 (dry etching) 및 다양한 리소그래피 공정의 에칭 요구를 수용하기 위해 리에 (RIE) 챔버 옵션으로 설계되었습니다. 예를 들어, 습식 에칭 챔버 (wet etching chamber) 는 실리콘 웨이퍼의 깊은 에칭에 사용될 수 있으며, 건식 챔버 (dry chamber) 는 종횡비가 높은 얇은 트렌치를 에칭하는 데 사용됩니다. 또한, RIE 옵션을 사용하여 회로 회선, 연락처 등 보다 정확한 기능을 가져올 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9400은 또한 엔드 포인트 검출기 (end-point detector) 를 특징으로하며, 에칭 프로세스를 모니터링하며 다른 에치 레이트에 맞게 조정할 수 있습니다. 이를 통해 프로세스 제어를 향상시키고 결과를 최적화할 수 있습니다. 에치 프로세스 및 재료에 따라이 에처/애셔 (etcher/asher) 의 최대 에치 레이트도 조정이 가능합니다. TCP 9400에는 고급 실시간 기판 온도 조절 장비도 있습니다. 예를 들어, 온도 범위는 섭씨 4도에서 400도 사이입니다. 온도 조절은 열팽창 (thermal expansion) 과 수축 (contraction) 으로 인한 오류를 줄여 에칭 작업의 정확도가 높아집니다. 또한 자체 교정 시스템을 통해 여러 기판에 걸쳐 일관된 에치 깊이를 보장합니다. LAM RESEARCH TCP 9400에는 노출 시간, 기판 온도, 에칭 속도 등의 설정을 위해 디스플레이 및 조정 가능한 매개 변수가 장착 된 제어 콘솔도 있습니다. 이를 통해 사용자는 에칭 작업을 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 화면상의 레시피 작성자 (recipe creator) 를 사용하여 특정 photomask 프로덕션 응용 프로그램에 적합한 에칭 레시피를 선택할 수 있습니다. TCP 9400은 관련 프로세스를 에칭 및 애시하는 데 안전하고 안정적인 선택입니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 위험한 조건을 피하기 위해 비상 정지 (emergency stop) 및 전자 제어 연동 장치 (electronically-controlled interlock unit) 와 같은 안전 기능으로 설계되었습니다. 또한 공기 여과 장치 (air filtration machine) 가 장착되어 에칭 환경에서 깨끗함을 보장합니다. 또한 로드 잠금 (load lock) 및 클리닝 도구를 사용하여 신속하게 일괄 처리 (batch-to-batch) 전송을 보장합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH TCP 9400은 에칭 및 포토 마스크 연산을 최적화하도록 설계된 신뢰할 수있는 고정밀 에처 및 애셔입니다. 탁월한 에칭 성능, 고정밀 온도 조절 자산, 안전 (Safety) 기능을 통해 에칭 및 애싱 어플리케이션을 위한 효율적이고 안정적인 선택이 가능합니다.