판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 #9262479

LAM RESEARCH TCP 9400 (LAM RESEARCH TCP 9400) 은 반도체 장치 제작 프로세스에서 중요한 필름 및 기판의 높은 처리량과 안정적인 처리를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 플랫폼 유지 관리가 용이한 단일 에칭 (etching), 애싱 (ashing) 및 디캐핑 (decapping) 기능을 최적화합니다. TCP 9400은 고열 처리 챔버 (high-heat processing chamber) 와 고속 터보 펌프 (turbo pump) 를 사용하여 기체의 고른 흐름과 최적의 열 제어를 제공하여 효율적인 성능을 제공합니다. 이 장치는 정확하고 직관적인 작동을 제공하는 터치 스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 를 통해 제어 할 수 있습니다. 또한 다양한 스텝 프로파일 (step profile) 과 레시피 제어 (recipe control) 를 포함한 강력한 자동화 기능이 제공됩니다. 이것은 가장 어려운 에칭 작업에도 완벽합니다. LAM RESEARCH TCP 9400에는 고급 안전 기능과 엄격한 오염 제어가 장착되어 있습니다. 그것 은 "알루미늄 '세포 를 밀봉 하여 독자적 으로 조절 하였으며, 거기 에서 재료 를 첨가 하여 가공 한다. "알루미늄 '세포 는 물질 오염 을 방지 하고, 또한 식각 및 청소 를 위한 조절 된 환경 을 제공 한다. 또한, 이 장치에는 유해 물질이나 입자가 챔버에서 탈출하지 않도록 유출 탐지기 (leak detector) 및 압력 제어 안전 (pressure control safety) 기능이 장착되어 있습니다. TCP 9400에는 원격 HF 센서 제어, CDW 농도 제어, 통합 로딩 시스템 등 고급 재료 처리가 장착되어 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 LAM RESEARCH TCP 9400은 식각 및 청소 프로세스에 대한 정확하고 효율적인 제어를 제공하며, 안전성을 보장하고 오염을 제거합니다. TCP 9400은 고성능, 신뢰할 수있는 etcher/asher가 필요한 모든 청소실 또는 제조 시설에 이상적인 선택입니다. 안정성, 자동화 기능, 오염 제어, 안전 기능을 통해 모든 정밀도 또는 대규모 에칭 (etching) 작업을 손쉽게 선택할 수 있습니다.