판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 #9243878

LAM RESEARCH TCP 9400은 효율적이고 모든 기능을 갖춘 etcher/asher로 프로세스 유연성을 최적화합니다. 수상 경력에 빛나는 TCP 시리즈 프로세스 툴 (process tools) 의 멤버이며 R&D 및 프로덕션 어플리케이션에서 뛰어난 성능을 제공하도록 설계되었습니다. TCP 9400은 고분자, 금속, 유기 및 세라믹을 포함한 모든 금속 및 유전체의 정확하고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. LAM RESEARCH TCP 9400은 1.4mm ~ 4.5mm 범위의 두께를 가진 웨이퍼의 에칭 및 스트리핑에 적합합니다. TCP 9400 etcher/asher는 최고의 프로세스 유연성을 제공하며 다양한 공정 가스, 기판 및 척 온도를 포함합니다. 여기에는 다양한 프로세스 모듈 (process module) 이 있어 다른 프로세스에 대해 etcher를 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 플라즈마 기반 프로세스의 경우 LAM RESEARCH TCP 9400은 특허받은 PlasmaTuner ™ 모듈을 사용하여 탁월한 균일성을 제공합니다. PlasmaTuner 모듈은 우수한 균일성 및 프로세스 제어를 위해 플라즈마 소스의 출력 전력을 정확하게 조정합니다. TCP 9400에는 프로세스 자동화를 위한 최신 소프트웨어 및 하드웨어도 포함되어 있습니다. 통합 (Integrated) 주변기기 (Peripheral Device) 를 통해 프로세스 제어를 통합하고, 프로세스를 빠르고 쉽게 프로그래밍할 수 있는 완벽한 소프트웨어/하드웨어 제품군을 제공합니다. LAM RESEARCH TCP 9400은 일관되고 안정적인 결과를 얻도록 최고의 반복성과 재생성을 위해 설계되었습니다. 상공 공기 열 교환을위한 이중 독립적 인 필터를 제공하며, 이 필터는 챔버 전체의 열 구배를 최소화하고, 경쟁 시스템보다 20 배나 좋은 균일성을 제공합니다. TCP 9400은 또한 물 링 펌프를 통합하여 깨끗한 공정 가스를 효율적이고 일관되게 제공합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH TCP 9400 etcher/asher는 다양한 기판의 효율적인 에칭 및 스트리핑을 위해 뛰어난 프로세스 유연성과 제어를 제공합니다. 정확성, 반복성, 신뢰성이 요구되는 R&D 및 프로덕션 어플리케이션에 이상적입니다.