판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 #9233832

LAM RESEARCH TCP 9400은 견고한 고속, 고정밀 웨이퍼 에치 프로세스를 제공하도록 설계된 고급 etcher/asher입니다. 기계는 습식 (wet) 및 건식 (dry) 에치 단계를 모두 수행 할 수 있으며 모든 에칭 매개변수에 대한 뛰어난 제어 기능을 제공합니다. 에치 챔버에는 여러 개의 반응물 또는 운반체가 포함되어 있으며, 건식 에칭의 경우 최대 650 ° C, 습식 에칭의 경우 최대 600 ° C 온도를 유지할 수있는 난방 모듈이 있습니다. 또한, 습식 및 건식 에칭 응용 프로그램 모두에서 RF 전력을 제어하기위한 RF 발전기가 있습니다. 이 기계는 또한 고정밀 에치 (etch) 또는 애쉬 (ash) 공정에서 웨이퍼를 정확하고 빠르게 처리 할 수있는 고급 반도체 처리 로봇을 갖추고 있습니다. 로봇은 4 "최대 8" 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 기계에는 또한 흐름, 압력, 온도, RF 등 여러 에치 매개변수에 대한 추가 제어를 제공하는 다중 소품 센서 챔버 (multi-prop sensor chamber) 가 포함 된 계측 패키지가 들어 있습니다. TCP 9400에는 압력 기반 고속 가스 전달 시스템도 있습니다. 이 시스템은 고압 기체와 저압 기체 (low-pressure gase) 의 조합을 사용하여 전체 웨이퍼에 균일 한 에칭 또는 재를 제공합니다. 또한 헬륨 기반 가스 전달 시스템 (etch aspect ratios) 과 에치 선택성을 추가로 제어 할 수 있습니다. 이 기계에는 에칭/애쉬 프로세스 (etching/ashes process) 의 수동 및 자동화를 모두 지원할 수있는 고급 제어 전자 패키지 (advanced control electronics package) 도 포함되어 있습니다. 광범위한 애플리케이션 라이브러리 (Application Library) 는 사용자가 수동으로, 자동으로 프로세스를 제어할 수 있는 다양한 옵션을 제공합니다. 디스플레이 터치스크린은 또한 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 제공하여 프로세스를 쉽고 간단하게 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH TCP 9400은 최신 반도체 프로세싱의 까다로운 요구 사항을 충족 할 수있는 고급, 유연성, 고정밀 etcher/asher입니다. 견고한 디자인과 고성능 기능으로 인해 모든 반도체 제작 설비에 귀중한 자산이 됩니다.