판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 #9226362

LAM RESEARCH TCP 9400은 장치 형성 과정에서 특정 재료 계층을 적용하기 위해 반도체 장치 제조에 사용되는 etcher/asher입니다. TCP 9400은 프로세스 도구 네트워킹을 위해 TCP (Technology Communication Protocol) 인터페이스를 사용하여 서로 상호 작용하고 가스 흐름, 온도, 시간, 압력 등의 매개 변수를 조정하여 최대 프로세스 성능을 달성합니다. LAM RESEARCH TCP 9400은 최대 500mm 크기의 기판을 에치하거나 애셔링할 수 있으며, 특허를 받은 ZRide ™ 플랫폼을 통해 안정적이고 마찰이 적은 동작을 제공하며, 웨이퍼 면 반복성 및 프로세스 균일성에 중요한 프로세스 면 높이에서 단단한 웨이퍼 패턴을 유지합니다. TCP 9400은 LAM의 Gasflow ™ 기술을 사용하여 FAR (Fast-action Reaction) 밸브를 사용하여 프로세스 가스를 정확하게 활성화 및 비활성화하여 특정 작업 요구 사항에 대한 미세 튜닝으로 반복 가능한 프로세스 결과를 신속하게 달성합니다. 이 장비는 또한 동적 관성 (Dynamic Inerting) ™ (Dynamic Inerting) 을 특징으로하며, 비활성 및 프로세스 가스를 빠르게 전환하여 작업 요구 사항의 변화에 신속하게 대응하고 진공 프로세스에 대한 높은 수준의 제어 및 균일성을 제공합니다. 이 시스템에는 독점 자동 웨이퍼 처리 장치가 장착되어 있어 단일 웨이퍼 (single-wafer) 및 로트 와퍼 처리 (lot-of-wafer processing) 및 빠른 기판 사전 청소 및 로딩을 가능하게합니다. LAM RESEARCH TCP 9400 은 단일 챔버 내에서 여러 포트를 제어할 수 있으며, 포트 간에 가스를 제어할 수 있습니다. 안전성을 보장하기 위해 TCP 9400에는 프로세스 챔버에 대한 무단 액세스를 방지하고 온도, 압력, 습도 수준을 모니터링하는 하드웨어/소프트웨어 안전 (hardware/software safety) 기능이 장착되어 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9400 (LAM RESEARCH TCP 9400) 에는 또한 공구에 의해 이국적인 재료가 감지되면 자동 종료 및 청소가 트리거되는 유출 탐지기가 있습니다. TCP 9400은 반도체 장치 제작 프로세스를위한 포괄적 인 올인원 에처/애셔 자산입니다. TCP 인터페이스, 가스 흐름 기술, 동적 관성 기능, 자동 웨이퍼 처리 모델 및 다양한 안전 기능을 갖춘 LAM RESEARCH TCP 9400은 반복 가능한 결과를 위한 정교한 수준의 제어 및 정밀도를 제공합니다.