판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 #9180765

LAM RESEARCH TCP 9400은 반도체 제조의 FEOL (Front End Of Line) 프로세스를 위해 설계된 고성능 에처 및 애셔 도구입니다. 첨단 다중 주파수 공명 기술은 동시 반응 이온 에치 (reactive ion etch) 와 산화 (oxidation) 를 통해 대량의 생산성을 달성할 수 있습니다. TCP 9400에는 큰 기판 면적이있는 큰 공정 챔버가 있습니다. 이는 균일 한 기판 로딩을 보장하여 높은 생산성과 처리량을 제공합니다. 이 약실은 또한 정전기 핀치 전압 기술을 사용하여 균일하고 일관된 에칭 프로세스를 제공합니다. 핀치는 또한 개선된 프로파일링으로 이어지는 변동성을 최소화하는 데 도움이됩니다. 이 도구는 또한 저주파 (Low-Frequency) 주파수 변환 기능을 통해 모서리 및 코너에서 과도한 에칭 위험을 줄일 수 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 정확도가 높아지고 수익률이 높아집니다. LAM RESEARCH TCP 9400은 균일 한 에칭 및 산화를 보장하는 균일 한 소스 분포를 제공합니다. 또한 바이어싱 (biasing) 을 사용하여 에칭 선택성을 향상시키고 기판에서 패턴 화 된 피쳐를 빠르게 제거합니다. 도구의 고급 제어 (Advanced Control) 기술을 통해 사용자는 RF 전원 및 타이밍과 같은 상태를 정확하게 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 에칭 조건을 최적화하여 프로세스 (process) 를 재료 또는 피쳐 크기에 맞게 조정할 수 있습니다. TCP 9400에는 빠른 사이클 시간도 포함됩니다. 이를 통해 처리량이 많은 생산이 가능합니다. 또한, 이 툴에는 신속한 장애 감지 및 복구를 지원하는 진단 기능이 내장되어 있습니다. 따라서 운영 환경에 적합합니다. 또한 고급 소프트웨어 기능을 통해 프로세스 최적화, 데이터 로깅, 레시피 편집을 단순화할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9400은 FEOL 시장의 요구를 충족하도록 설계된 강력하고 다재다능한 etcher 및 asher 도구입니다. 고급 (Advanced) 기능은 탁월한 처리 능력과 처리량을 제공하며, 프로세스 제어와 최적화를 향상시킵니다.