판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 #9180718

LAM RESEARCH TCP 9400은 패널 및 IC 레벨 평면 패널 처리에 사용되는 etcher/asher 장비입니다. 이 시스템은 초고해상도 (Ultra High Resolution) 에치를 제공할 수 있으므로 고에너지 빔 (High Energy Beam) 을 사용해야만 가능한 복잡한 패턴화 디자인을 만들 수 있습니다. 이 장치에는 최첨단 ablation 챔버가 장착되어 있으며, 다중 나노 미터에서 100 미크론 범위의 고에너지 파장 빔을 생성 할 수 있습니다. TCP 9400은 저렴한 고정밀 처리 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 기계는 2 단계 절제 프로세스를 사용하는데, 여기서 1 단계는 기판을 가열하여 기질의 원하는 에칭 또는 애싱 (ashing) 을 유발하는 플라즈마 빔 (plasma beam) 을 생성합니다. 이 첫 번째 단계는 LAM RESEARCH TCP 9400의 독특한 기능이 가장 분명한 곳입니다. ablation 프로세스의 두 번째 단계는 기판을 냉각시켜 초고해상도 에치를 생성하는 것입니다. 이 과정에는 기판에 짧은 버스트 고 에너지 빔을 제공하는 하향식 펄스 레이저 (top-down pulsed laser) 가 사용됩니다. 이로 인해 깨끗하고 정확하게 마무리됩니다. 이 도구는 또한 최대 750 나노 미터의 에치 깊이를 제어 할 수 있습니다. 마지막으로, TCP 9400은 광범위한 코팅 작업을 수행 할 수 있습니다. 여기에는 스핀 코팅, 스프레이 코팅 및 에치 후 코팅 (post-etch coating) 작업과 같은 광범위한 처리를 제공합니다. 이러한 프로세스는 패턴 해상도 및 균일성을 높이고 강력한 부식 저항을 제공하는 데 사용됩니다. 요약하면, LAM RESEARCH TCP 9400은 패널 및 IC 레벨 평면 패널 처리를 위해 설계된 고정밀 etcher/asher 자산입니다. 아블레이션 챔버 (Ablation Chamber) 가 장착되어 있으며 여러 파장의 고에너지 빔을 생성하여 초고해상도 에치를 생성 할 수 있습니다. 또한, 강력한 부식 보호를 통해 패턴 해상도와 균일성을 더욱 향상시키기 위해 많은 코팅 프로세스를 제공합니다.