판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 #9171323

LAM RESEARCH TCP 9400은 제조 산업의 다양한 프로세스에 사용되는 플라즈마 강화 에처/애셔입니다. 이 다재다능한 도구는 구리, 텅스텐, 알루미늄 등 다양한 재료를 에치 (etch) 하고 퇴적시킬 수 있으며, 특수 반도체 재료를 처리할 수 있습니다. 이 도구는 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 모두에 사용할 수 있습니다. TCP 9400 에는 대형 "플라즈마 챔버 '가 장착 되어 있어서 여러 가지 기판 을 사용 하기 쉽다. 이 약실 은 "가스 '의 최적 인" 이온화' 와 압력, 흐름 및 온도 수준 을 정확 하게 설정 하는 능력 을 위해 설계 되었다. 가장 좋은 결과를 얻기 위해 질소 (Nitrogen) 와 헬륨 (Helium) 에서 흐름 배기 및 활성 냉각에 이르는 다양한 냉각 방법을 사용할 수 있습니다. 이 기계는 간단하고 사용하기 쉬운 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 갖추고 있습니다. 안전 한 운영 환경 을 보장 하기 위한 "안전 조치 '도 여러 가지 있다. LAM RESEARCH TCP 9400에는 과압 보호 장비와 웨이퍼 감지 시스템 (wafer sensing system) 이 장착되어 있으며, 둘 다 입자가 챔버를 탈출하지 못하도록 도와줍니다. 이 챔버에는 웹 모니터링 장치 (Web Monitoring Unit) 와 감사 추적 (Audit Trail) 이 있습니다. etching 및 ashing 재료 외에도 TCP 9400은 Layer-on-layer 증착, annealing 및 polysilicon 증착과 같은 다른 프로세스에 사용될 수도 있습니다. 기계는 또한 챔버 내부의 압력, 유량 (flow rate) 및 기타 매개변수를 구성하는 다양한 옵션을 가지고 있습니다. 이 챔버에는 고급 웨이퍼 처리 장치 (Advanced Wafer Handling Machine) 가 장착되어 있어 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 전송이 가능합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH TCP 9400은 다양하고 신뢰할 수있는 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 다양한 응용 프로그램에서 높은 정밀도와 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 사용자 친화적 인 GUI, 고급 안전 및 데이터 로깅, 다양한 재료 처리 기능이 있습니다. 다양한 기능을 갖춘 TCP 9400 은 많은 반도체 디바이스 구성 프로세스에 이상적인 솔루션입니다.