판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 #9131590
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ID: 9131590
웨이퍼 크기: 4"-8"
Poly/Nitride etcher, 8"
System configuration
Wafer transfer
Cassette to cassette
Chamber
1 Process Ch, 2 loadlock ch
Fixed gap electrode( 11.6cm)
1.25KW and 13.56㎒ RF power supply (Process Chamber Upper/Lower)
(RF generator Model : RFG 1250)
Automatic match system
3-Turn TCP coil
Electrode temperature unit interface
Photodiode optical endpoint detector
Electrostatic chuck (Process Chamber)
Bottom redial gas injection
Back HE cooling
1 Turbo pump(Seiko Seiki 2203)
Viton /Fsilicon O-Ring
Orbitally welded gas box
(3) Color Tower Lamps
System controller
Envision –E1.5.1 / LCD moniter
Pressure control
Automatic pressure control(VAT65)
Temperature control system
Single chiller(M&W) temp control range:-20℃~+80℃).
LAM RESEARCH TCP 9400 (LAM RESEARCH TCP 9400) 은 높은 처리량 프로세스 제어 및 에칭을 위해 설계된 Etcher 및 Asher 장비입니다. 가변 전원 공급 장치, 디지털 x-y-z 동작 제어 및 UPC (Universal Process Chamber) 모듈이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 SmartScan 기술 (SmartScan Technology) 을 사용하여 표류 없이 정확하게 에칭하여 빠르고 정확한 에치 깊이와 마무리를 지원합니다. TCP 9400은 알루미늄, 알루미늄 합금, 전기 배선, 스테인리스 스틸 및 기타 전도성 재료를 에칭하는 데 적합합니다. 또한 프로세스 반복성과 정확성을 향상시키기 위해 CST (Constant Scanning Technique) 를 제공합니다. 이 장치는 프로세스 제어가 뛰어난 다양한 재료를 정확하게 에칭 (etch) 할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9400에는 에칭 매개변수를 제어하는 데 사용할 수 있는 다양한 설정이 있습니다. 이러한 설정을 사용하면 에칭 프로세스를 세밀하게 조정하여 수율 효율을 극대화할 수 있습니다. 또한 필요에 따라 설정을 쉽게 변경하여 에치 (etch) 작업 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 이 장치에는 강력한 난방기가 장착되어 있어 수동 (manual) 과 자동 (automatic) 제어가 모두 가능합니다. 이를 통해 사용자는 최적의 에치 (etch) 결과를 얻기 위해 프로세스 챔버와 기판을 정확하게 가열할 수 있습니다. 또한 에칭 도구는 팬 냉각 기술을 사용하여 에치 성능을 향상시킵니다. 이 에치 에셋에는 향상된 에치 결과 및 안전을 위해 동봉 된 공정 챔버가 있습니다. 또한 9400c 에는 향상된 프로세스 제어 모니터링 (process control monitoring) 기능과 더불어 에칭 프로세스 (etching process) 를 더욱 효과적으로 제어할 수 있는 소프트웨어 패키지가 장착되어 있습니다. 또한 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 데이터 입력 및 프로세스 제어를 지원합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH TCP 9400c는 매우 다재다능하고 유연한 etcher 및 asher 모델입니다. 프로세스 제어, 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 데이터 입력 및 CST (Constant Scanning Technique) 를 위한 다양한 설정을 제공하여 최고의 반복 가능성과 정확성을 제공합니다. 이 장비는 다양한 에칭 용도에 적합하며 알루미늄, 알루미늄 합금, 전기 배선, 스테인리스 스틸 에칭에 적합합니다.
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