판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 #9053203

LAM RESEARCH TCP 9400은 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 에처/애셔입니다. 최대 8 인치 직경의 기판을 처리 할 수있는 고속, 고해상도 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 시스템은 운영 규모 애플리케이션을 위해 일관되게 복제될 수 있는 일관된 결과를 바탕으로 매우 정밀한 패턴화 (patterning) 를 생성하도록 설계되었습니다. 전체 프로세싱 챔버 (processing chamber) 에 대한 정확한 모션 제어를 위한 고품질 듀얼 축 (dual-axis gantry) 로봇 지원 장치를 갖추고 있으며, 처리 중 기판의 열 프로파일을 검토하기위한 열 이미징 센서를 포함합니다. "간트리 '는 기판 이 신속 하고 정확 하게 원하는 처리 위치 로 옮겨질 수 있게 한다. 강력한 질량 흐름 제어기 (Mass Flow Controller) 는 다양한 화합물로 정밀한 가스 흐름 관리를 제공하며, 사용자의 개입을 최소화합니다. 고급 프로세스 제어 소프트웨어 (Advanced Process Control Software) 를 사용하면 레시피 당 최대 10 개의 스테이션으로 메모리에 여러 레시피가 존재할 수 있습니다. 이 기계는 4/4 로드 잠금 챔버 구성으로 제작되어 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 로드하거나 언로드할 수 있습니다. TCP 9400은 플라즈마 및 화학 에칭으로 복잡한 패턴과 밀도 있는 구조를 처리하도록 설계되었습니다. 화학공정 (chemical process) 과 플라즈마 공정 (plasma process) 간의 즉각적인 전환을 통해 낮은 주기 생산이 가능합니다. "플라즈마 '동력" 시스템' 은 최대 200 "와트 '의 전력 을 생산 할 수 있으므로 식각 속도 와 균일 한 특성 을 정확 히 관리 할 수 있다. 또한 LAM RESEARCH TCP 9400에는 자동 웨이퍼 검사를위한 고급 고속 이미징 머신이 있습니다. 이 도구는 서브 마이크론 (sub-micron) 해상도로 가장 작은 기능을 측정할 수 있으며, 전체 웨이퍼를 몇 분 안에 이미징할 수 있습니다. 이 기계는 임베디드 안전 (Embedded Safety) 기능을 갖추고 있으며, 가스와 압력 관리를 모니터링하여 안전 수준을 높일 수 있습니다. TCP 9400은 대용량 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 상당한 이점을 제공하는 고성능 etcher/asher입니다. 고급 제어 자산, 이중 축 (dual-axis gantry) 로봇 지원 모델 및 다양한 프로세스 기능을 통해 정확하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다.