판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 #293825709

LAM RESEARCH TCP 9400은 반도체 장치 생산을 위해 설계된 에처/애셔 장치입니다. 단일 작업으로 인라인 (in-line) 제거 및/또는 etch 프로세스를 수행할 수 있는 자동화된 장비입니다. 이 시스템은 중대용량 디바이스의 생산에 이상적입니다. 이 장치는 공압 적으로 작동 된 뚜껑이 열린/닫힌 메커니즘이있는 DRIE (Deep Reactive Ion Etching) 챔버를 특징으로합니다. 이 약실 은 "기판 '을 고도 의 정확도 와 정밀도 로 처리 할 수 있도록 설계 되었다. 챔버에는 통합 열 교환기 (heat exchanger) 와 정확한 프로세스 제어를 위한 추가 압력 제어 모듈이 있습니다. 이 기계는 또한 공구에서 기판을 로드하고 언로드하기위한 단일 웨이퍼 전송 로봇 (single-wafer transfer robot) 을 갖추고 있습니다. 이 "로봇 '은 고도 의 공정 유연성 을 제공 하며, 안정적 이고 효율적 인 기판 처리 를 위한" 비전' 도구 를 갖추고 있다. "로봇 '에는 또한 전원" 모듈' 이 장착 되어 있어서 뛰어난 기판 을 보호 하고 주기 를 단축 할 수 있다. 컨트롤러 장치는 자산을 실행하는 데 필요한 제어 및 자동화 기능을 제공합니다. 여기에는 운영 매개변수, 레시피 관리, 데이터 로깅, 호스트 컴퓨터 접속 등이 포함됩니다. 컨트롤러 장치 (Controller Unit) 에는 프로세스 결과를 모니터링 및 분석하고 나중에 반복할 수 있도록 레시피를 저장하는 기능이 포함되어 있습니다. 마지막으로, 모델은 사전 에치 및 사후 에치 (post-etch) 프로세스를 위해 최대 8 개의 웨이퍼를 보관하도록 설계된 로드록 챔버를 갖추고 있습니다. 이 방에는 대피 용 진공 펌프 (vacuum pump) 와 챔버 대기 관입을위한 산소 분사 포트가 포함됩니다. 이러한 모든 구성요소는 함께 작동하여 품질 (quality), 반복 가능한 결과를 일관되고 신뢰할 수 있는 방식으로 생성합니다. TCP 9400 etcher/asher 장비를 사용하여 장치 제조업체는 사양 요구 사항을 적시에, 비용 효율적인 방식으로 충족하는 반도체 장치를 생산할 수 있습니다.