판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 #293809942

LAM RESEARCH TCP 9400 (LAM RESEARCH TCP 9400) 은 반도체 및 고급 포장 산업의 고정밀 에칭 및 애싱 수요를 충족하도록 설계된 최첨단 에처/애셔입니다. 이 장비는 뛰어난 성능을 갖춘 고속, 균일, 신뢰성 있는 프로세스를 제공할 수 있습니다. TCP 9400은 완전 자동화 및 통합 가스 전달 플랫폼을 갖추고 있으며, 최대 11 개의 가스 전달 포인트를 동시에 제공 할 수 있습니다. 또한 최대 3 개의 핫 로봇 (Hot Robot) 을 갖춘 고효율 로봇 인터페이스를 통해 수동 로딩과 빠른 처리 시간을 위해 최대 40 개의 웨이퍼를 조작 할 수 있습니다. 이 장비에는 가변 주파수 드라이브 (Variable Frequency Drive) 가 장착 된 진공 펌프 (Vacuum Pump) 패키지와 장비와 기판 사이의 열 전달을 최소화하고 최소화하도록 설계된 특수 공정 챔버 (Special Process Chamber) 가 포함됩니다. LAM RESEARCH TCP 9400은 산화물 (oxide), 질화물 (nitride) 및 기타 에칭과 같은 반복 가능한 공정을 높은 종횡비로 제공 할 수 있으며, 여러 웨이퍼 크기에 걸쳐 높은 정밀도와 균일성을 제공합니다. TCP 9400 의 높은 처리율과 완벽한 프로세스 제어는 주기 (cycle) 를 줄이고 생산량을 증가시킵니다. LAM RESEARCH TCP 9400에는 모든 에칭/애싱 프로세스를 모니터링하는 강력한 프로세스 모니터링 시스템도 장착되어 있습니다. 가스흐름 속도, 압력, 온도, 전력 등 운영 프로세스 제어 매개변수를 프로세스 제어 소프트웨어 (process control software) 에 프로그래밍할 수 있습니다. 이렇게 하면 프로세스를 최적으로 관리할 수 있으며, 경유 (Via), 선 (Line) 및 접촉 구멍 (Contact Hole) 이 시간에 따라 완벽하게 에칭/재시됩니다. 결론적으로, TCP 9400은 반도체 및 고급 패키징 산업에 이상적인 솔루션으로, 여러 웨이퍼 크기에 걸쳐 뛰어난 균일성 (unifority) 을 제공하는 빠르고, 안정적이며, 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 강력한 프로세스 모니터링 시스템 (process monitoring system) 과 자동화된 가스 공급 플랫폼 (automated gas delivery platform) 은 모든 작업이 완벽하게 완료되므로 생산성과 만족도가 높아집니다.