판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 #293805105

LAM RESEARCH TCP 9400은 반도체 산업의 다양한 응용 분야에 사용되는 고정밀 etcher/asher입니다. TCP 9400은 LAM RESEARCH 특허를받은 DuraSketch ™ 기술을 기반으로 구축되었으며, 이는 에칭, 애싱 및 기타 중요한 기술에 대한 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 고도로 진보 된 플라즈마 공정을 사용하여 빠르고 깨끗하고 균일 한 에치 공정을 제공하여 뛰어난 웨이퍼 품질을 제공합니다. LAM RESEARCH TCP 9400은 매우 혁신적인 진공로드 잠금 (vacuum load lock) 및 기판 전송 장비를 사용하여 운영자는 단일 사이클로 최대 8 개의 웨이퍼를 쉽게 전송 할 수 있습니다. 시스템의 설계는 또한 웨이퍼의 정확하고 제어 된 수직 (vertical motion) 동작을 가능하게하며, 이는 에치 (etch) 프로세스가 반복 가능하고 프로세스 변화가 없도록 보장합니다. 이를 통해 최종 제품의 수율과 균일성이 높아집니다. 이 장치에는 정확한 주파수 및 전원 제어 기능이있는 정확한 디지털 RF 생성기가 있습니다. 이를 통해 사용자는 포화 응답 시간 (saturation response time) 및 에치 속도 (etch rate) 로 다이얼링하고 에치 깊이를 정확하게 설정할 수 있습니다. 프로세스 매개변수 (process parameters) 의 정확한 제어는 모든 정밀 에치 (etch) 프로세스에서 사용하는 데 이상적입니다. 이 기계는 또한 다양한 에칭 (etching) 응용 프로그램을 허용하는 다양한 소스 가스를 특징으로합니다. 또한 자동 가스 전환이 특징이며 완전한 프로세스 자동화가 가능합니다. 이 도구는 또한 etch 프로세스 동안 정확한 열 제어를 위해 정확한 난방 영역을 제공합니다. TCP 9400은 가장 까다로운 에칭 및 애싱 어플리케이션을 위한 완벽한 도구입니다. 정확한 프로세스 매개변수, 자동 가스 스위칭 (automated gas switching) 및 광범위한 가스 선택은 고수율, 고품질 생산 프로세스에 이상적인 도구입니다. 직관적인 컨트롤, 진공 전송 에셋 및 디지털 RF 생성기도 정밀 에칭 프로세스에 이상적입니다.