판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 #293608569

LAM RESEARCH TCP 9400은 반응성 가스를 사용하여 표면에 특징을 에치 또는 애셔 (echer/asher) 합니다. 이 에칭/애싱 공정은 열 화학 증착 챔버에서 수행됩니다. TCP 9400은 안정적이고 견고한 에처 (etcher) 로, 주기가 매우 짧은 고품질 기능을 만들 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9400은 높은 처리량, 프로세스 균일성 및 정밀도를 조합하도록 설계되었습니다. TCP 9400은 전체 작업 영역 전체에서 매우 균일 한 프로세스 조건을 가능하게 하는 독특한 챔버 (chamber) 설계를 갖추고 있습니다. 원자로는 또한 염소, 트리플루오린화 붕소, 삼플루오린화 질소 등 다양한 공정 가스를 처리 할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9400에는 프로세스 가스 유량을 정확하게 제어 할 수있는 가스 흐름 컨트롤러 (gas flow controller) 가 장착되어 있습니다. 또한, 방의 내부 압력은 에칭/애싱 속도를 최적화하기 위해 조정 될 수있다. TCP 9400은 사용하기 쉽고 비용 효율적인 장비로, 탁월한 에칭/애싱 정확성과 반복 기능을 제공합니다. 또한 다양한 유형의 가공소재에 적합한 확장 된 작업 거리 (working distance) 가 특징입니다. 이 시스템에는 진공 인증이 통합되어 있습니다. 즉, 사전 에칭 및 사후 에칭 모두에 단일 에치를 사용할 수 있습니다. 또한, 우수한 온도 조절 및 공정 안정성을위한 수냉식 플라즈마 소스를 가지고 있습니다. 따라서 더 복잡한 구조에 대한 정밀도, 속도 및 정확도가 향상됩니다. LAM RESEARCH TCP 9400에는 에칭 성능에 대한 실시간 피드백을 제공하는 강력한 표면 분석 도구가 있습니다. 이 도구는 OES (Optical Emission Spectroscopy) 를 사용하여 재료의 에치 깊이와 프로파일을 측정합니다. 또한 온도, 압력, 흐름 속도와 같은 프로세스 매개변수에 대한 액세스를 모니터링할 수 있습니다. 또한 TCP 9400 에는 프로세스 데이터를 기록하고 아카이빙할 수 있는 통합 데이터 획득 장치 (Integrated Data Acquisition Unit) 가 장착되어 있습니다. 결론적으로, LAM RESEARCH TCP 9400은 독특한 챔버 설계 및 통합 프로세스 분석 도구를 갖춘 효율적이고 신뢰할 수있는 etcher/asher입니다. 빠른 주기와 뛰어난 정확도로 탁월한 에칭 및 애싱 성능을 제공합니다. 탁월한 제어 머신을 통해 매개 변수 및 데이터 입수를 정확하게 조정할 수 있습니다.