판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 #293592159

LAM RESEARCH TCP 9400은 단일 도구에서 청소 및 증착 기능을 제공하는 혁신적인 에처 (etcher) 및 애셔 (asher) 장비입니다. 이 시스템은 실리콘 웨이퍼, 유리, 쿼츠, 기타 등 다양한 기판을 매우 정확하게 처리 할 수 있도록 설계되었습니다. TCP 9400 (TCP 9400) 에는 스캔 헤드 (scanhead) 가 장착되어 기판에 다양한 가공 화학 물질 및 재료를 정확하게 배치하여 최고 품질의 에칭 및 증착 작업을 보장합니다. 이 스캔헤드는 선형 (linear) 및 방사형 스윕 (radial swept) 동작을 모두 특징으로하며, 에칭 및 증착 과정을 매우 정확하고 빠르게 완료할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9400 에는 컴퓨터 워크스테이션 또는 장치 콘솔에서 액세스할 수 있는 통합 Control Station 이 있습니다. 이 스테이션은 시스템을 설정하고 모니터링하고 다른 시스템과의 통신을 위한 포괄적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 제공합니다. 이 도구에는 가스 차단, 비상 출구, 비상 정지 (Emergency Stop) 등 다양한 안전 기능이 제공됩니다. TCP 9400에는 고급 플라즈마 에칭 에셋 (Plasma Etching Asset) 이 장착되어 있어 다양한 기판을 쉽고 정밀하게 가져올 수 있습니다. 이 모델은 에칭 및 애싱 (예: 고속 산소 플라즈마 에치, 고속 질소 플라즈마 에치) 의 최신 기술을 통합합니다. 에처는 산화물 제거, 카운터 도핑, 딥 실리콘 에치, 코너 라운드 및 그루브 정의, 기타 프로세스 등 다양한 작업에 사용할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9400은 또한 다중 챔버 애셔 프로세스 (multi-chamber asher process) 를 특징으로하며, 이는 증착 및 재시 프로세스를 모두 최적화하기 위해 특별히 설계되었습니다. 이것은 상호 교환 가능한 화학적 소스와 다중 확대/축소 기능을 사용하여 수행됩니다. 마지막으로 TCP 9400에는 고급 안전 기능인 ASAM (Automatic Safety and Monitoring Equipment) 이 장착되어 있습니다. 이 기능은 장비를 스캔하고, 프로세스 매개변수를 지속적으로 모니터링하며, 프로세스 중에 안전하지 않은 조건이 발생할 경우 사용자에게 경고 (Alert) 합니다. LAM RESEARCH TCP 9400은 최첨단 에처이며 기판을 빠르고 정확하게 처리 할 수 있습니다. 이 시스템에는 증착 공정, 고급 플라즈마 에처 (plasma etcher) 및 멀티 챔버 애셔 (multi-chamber asher) 장치를 정확하게 제어하기위한 스캔헤드가 장착되어 있습니다. 또한, 이 기계는 다양한 안전 (safety) 기능을 가지고 있으며, 이 프로세스를 안전하고 효율적인 방식으로 작동시킵니다.