판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293813746
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LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE는 전체 제작 프로세스에 걸쳐 높은 품질의 프로세스 제어 및 신뢰성을 제공하도록 설계된 고성능 etcher 및 asher입니다. 이 장비는 크리티컬 어플리케이션 웨이퍼 (critical-application wafer) 에 사용하도록 설계되어 탁월한 성능과 정확도로 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 를 구현할 수 있습니다. 이 시스템은 모든 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 요구 사항에 쉽게 적응할 수 있는 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. ONTRAK TCP 9400 SE에는 플라즈마 트랜스퍼 챔버, 스테인리스 스틸 챔버, 가스 전달 장치, 통합 컨트롤러, 진공 펌프 기계, 가스 저장 캐비닛 및 다양한 필터 및 트랩이 포함됩니다. 이 고도로 통합된 도구는 진행 중인 모든 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 처리할 수 있습니다. LAM RESEARCH TCP 9400 SE etcher 및 asher에 사용 된 기술은 진보되어 매우 정확한 샘플이 생성됩니다. 이 자산은 다양한 기판에서 보호 필름 및 기타 물질을 빠르고 정확하게 제거 할 수있는 전기 분해 (무전기) 에치를 특징으로합니다. 또한, 아르곤 기반 반응성 이온 애싱 (reactive ion ashing) 프로세스는 선택적 영역에 박막 증착을위한 다재다능하고 신뢰할 수있는 옵션을 제공한다. 이 모델의 고급 온도 제어 (Advanced Temperature Control) 덕분에 사용자는 프로세스의 온도를 정밀도로 쉽게 조정할 수 있습니다. 열 환경은 공정의 안정성을 유지하기 위해 가열 된 온도 제어 챔버 (Temperature Control Chamber) 와 정확히 다를 수 있습니다. TCP 9400 SE의 컨트롤러에는 에칭 및 애싱을 수행할 수 있는 사용자 친화적 인 소프트웨어가 있습니다. 또한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스의 정확성과 일관성을 최적화하는 완전 자동화된 프로세스 제어 장비가 포함되어 있습니다. 이 시스템은 또한 안전한 작업 환경을 보장하기 위해 다양한 안전 (Safety) 기능을 갖추고 있습니다. 에처 (etcher) 와 애셔 (asher) 는 원격으로 작동하는 셔터 유닛과 유출물을 수집하여 오염을 방지하는 오버플로 탱크를 갖추고 있습니다. 또한, 이 기계는 공정 온도의 변화를 감지하고, 과압 또는 진공 상태를 모니터링하여, 작동 중 안전하고 신뢰할 수있는 경험을 제공하는 안전 시스템 (Safety System) 을 내장했습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE etcher 및 asher를 사용하면 에칭 및 애싱 프로세스 동안 제어 및 정확성을 얻을 수 있습니다. 고급 전해석 에치 기술 (electrolytic etch technology), 고도로 제어 가능한 온도 환경, 다양한 안전 기능과 같은 기능을 갖춘 이 도구는 고정밀도, 신뢰성 있는 에칭 및 애싱 (ashing) 결과를 위한 완벽한 솔루션입니다.
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