판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293813740

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE는 반도체 제조에 사용되는 asher라고도하는 에처입니다. "Thin Capable Platform for Semiconductor Etching" 의 약자 인 ONTRAK TCP 9400 SE는 상업용 에칭 생산 및 연구에 사용하도록 설계되었습니다. 4 개의 독립적 인 에처와 11 개의 독립적 인 공정 챔버가있는 높은 처리량, 완전 자동화 장비입니다. 이 시스템은 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 에칭 및 스트립할 수 있으며, 수백 개의 실험을 동시에 수행 할 수 있습니다. 이 장치의 핵심에는 고효율 박막 에처 (Thin-film etcher) 가 있으며, 실리콘과 유전체를 초당 최대 3.2 Å의 속도로 에치 할 수 있습니다. 여러 "레이어 '를 한 번 처리 하는 기계 의 능력 은 총" 에칭' 시간 을 현저 히 줄일 수 있다. 따라서 LAM RESEARCH TCP 9400 SE는 프로세스가 엄격하거나 성능이 중요한 애플리케이션에 적합합니다. 기계는 또한 photoresist strip, etch stop, resist stripping 및 비소 도핑과 같은 프로세스를 수행 할 수 있습니다. EEA (Etch Eject Assembly) 는 에칭 프로세스 후에도 웨이퍼 표면이 오염되지 않도록 설계되었습니다. EEA는 또한 오염 가능성을 최소화하고 에치 깊이 변화를 줄이는 데 도움이됩니다. TCP 9400 SE는 신뢰성이 높은 600mm x 400mm 쿼츠 튜브를 장착하여 높은 처리량을 유지하고 일관된 웨이퍼 품질을 보장합니다. 13 개의 MFC 공정 라인은 압력, 온도 및 가스 흐름을 정확하게 제어합니다. 가스 흐름은 0 ~ 50slpm에서 다양하여 화학 소비를 줄이고 공정을 더 잘 관리하는 데 도움이 될 수 있습니다. 또한 직관적이고, 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 데이터 흐름을 효율적이고 자동화할 수 있습니다 (영문). 또한 프로세스 모니터링 (process monitoring) 및 탁월한 프로세스 제어를 제공하는 누수 감지 (leak detection) 와 같은 일련의 고급 진단 기능이 제공됩니다. 또한 LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE는 산업 안전 표준을 준수하도록 설계되었으며, 직원 및 장비에 대한 높은 수준의 보호를 제공합니다. 또한 전문 엔지니어 팀의 지원을 받으며, 필요한 경우 '지원' 및 '문제 해결' 을 수행할 수 있습니다. 온트랙 TCP 9400 SE (ONTRAK TCP 9400 SE) 는 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 박막 에처로, 상업용 에칭에 이상적인 선택입니다. 정밀 엔지니어링 (Precision Engineering) 및 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 효율적이고, 처리량이 높은 생산이 가능하며, 내구성과 고급 진단 기능을 통해 일관된 웨이퍼 품질을 얻을 수 있습니다.