판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293758955

LAM TCP 9400 SE는 반도체 처리에 사용하도록 설계된 에처/애셔 장치입니다. 매우 깨끗하고 긁힘 방지 성능을 갖춘 화학 내성 스테인레스 스틸 코팅이 특징입니다. LAM TCP 9400SE에는 여러 정전기 차폐 계층 (예: 교차 오염 위험을 현저히 줄이는 특허 설계) 이 장착되어 있습니다. 에처는 고성능 9400W 플라즈마 이온 소스 (Plasma Ion Source) 로 구동되며, 에칭을 애플리케이션에 맞게 조정하기 위해 광범위한 매개 변수 조정이 가능합니다. 또한 TCP 9400 SE 에는 에칭 (etching) 및 가스 흐름을 자세히 제어할 수 있는 자동 제어판 및 강력한 프로세스 형상 소프트웨어가 포함되어 있습니다. TCP 9400SE에는 자동 압력 제어, 고압 초음파 청소, 확장 유지 관리 간격, 동적 온도 제어 등 여러 기능 및 안전 기능이 있습니다. 또한 ESD 안전 절연 구조가 특징이며, 아크 오버를 방지하고 운영자를위한 안전한 작업 환경을 생성합니다. 온보드 냉각 장비는 장치를 냉각시키고 내구성을 확장합니다 (예: 대용량 사용). LAM TCP 9400 SE에는 통합 플래튼 및 클라우드 챔버가 있으며, 비디오 포트와 함께 디지털 뷰 파인더 및 조명 시스템이 있습니다. 또한 다양한 후처리 및 안전 기능 (예: 통합 가스 모니터, 화재 억제 장치) 과 통합됩니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 6 불화 황과 염소를 포함한 다양한 가스와 호환되며, 광범위한 정밀 에칭 및 가스 확산 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 디바이스의 CNC 제어 머신 (control machine) 은 작업의 복잡성과 상관없이 정확하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 온보드 소프트웨어는 Windows 및 Linux 운영 도구에서 액세스할 수 있으며 터치 스크린 (touch screen) 을 갖춘 포괄적인 사용자 인터페이스가 있습니다. LAM TCP 9400SE는 또한 데이터 전송 포트 (data transfer port) 를 제공하여 장치를 PC에 직접 연결할 수 있습니다. 에처/애셔는 알루미늄, 코발트, 실리콘 웨이퍼를 포함한 다양한 재료에 사용할 수 있습니다. 이 장치는 깊은 스크래치, 패턴, 높은 에치 레이트 (etch-rate) 최적화를 지원하므로 TCP 9400 SE는 광범위한 마이크로 패브라이션 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.