판매용 중고 LAM RESEARCH TCP 9400 SE #293758949

LAM TCP 9400 SE는 LAM (Laser Applications and Materials) 에서 제조 한 최첨단 에처/애셔 장비입니다. 에칭 (etching), 애싱 (ashing) 등 다양한 애플리케이션에 적합한 완전 자동화 머신입니다. LAM TCP 9400SE (LAM TCP 9400SE) 는 다양한 재료와 웨이퍼 크기를 수용하도록 재구성 할 수있는 유연한 챔버 설계를 갖춘 열 증기 증착 시스템입니다. TCP 9400 SE는 8 인치/200mm 직경의 챔버를 갖추고 있습니다. 진공 장치는 챔버를 10-9 Torr로 압력을 가하여 일관된 고품질 프로세스를 보장합니다. 이 시스템은 500 프로그램 저장 용량의 고급 디지털 소프트웨어 패키지를 사용합니다. TCP 9400SE는 다양한 에칭 및 애싱 프로세스의 요구 사항을 충족시키기 위해 온도 범위 (최대 450 ° C) 를 제공합니다. 이 장치에는 진공으로 부과되는 유리 공기 공기 공기 흐름판 (shroud) 을 갖춘 독특한 다중 구역 열 파괴 도구 (multiple-zone thermal destructt tool) 가 있어 사용자 정의 가능한 열 정권이 가능합니다. 이 자산은 등방성, 이방성 및 방향성 에칭과 같은 다양한 에칭 프로세스를 지원합니다. LAM TCP 9400 SE는 또한 소재 품질을 최적화하기 위해 sumps 및 pocket 기반 소결을 포함한 다양한 애싱 프로세스를 제공합니다. 소프트웨어 인터페이스를 사용하면 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스를 쉽게 프로그래밍 및 모니터링할 수 있습니다. LAM TCP 9400SE는 또한 정교한 이중 가스 제어 모델을 특징으로하여 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 장비에는 오염을 방지하기 위한 자동 차단 (Automatic Shut-off) 기능과 장치 오류로부터 빠른 복구를 위한 자가 진단 시스템 (Self-Diagnostic System) 이 장착되어 있습니다. 또한, TCP 9400 SE는 안전을 염두에 두고 설계되었으며, 최고의 안전 표준에 대한 인증을 받았습니다. 전체적으로, TCP 9400SE는 강력하고 다재다능한 에칭 앤 애싱 머신 (eching and ashing machine) 으로 다양한 에칭 및 애싱 요구를 충족시킬 수 있습니다. 이 툴은 쉽게 구성할 수 있으며, 강력한 하드웨어/소프트웨어 기능을 제공하여 일관성과 안정성을 보장합니다. LAM TCP 9400 SE는 연구 및 생산 응용 프로그램 모두에서 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다.